流量計傳感器足以各種類型電棄器作為傳感器元件．將被耐物理量的變化轉換為自身電粹量的變化，再經后續電路轉化為電壓、電流、頻率等。l|述電參數的數值應能間接準確地描適傲測物理毋的變化趨勢。

 

    流量計傳感器和電阻傳感器、流量計傳感器以及熱電偶傳感器同樣是工業測毋領域常見的并B成熟的傳感器之一。占具有F特點：

 

    （1）具有較大的相對變化量。用電罔i式傳感器測量時，其電阻相對變化量儀為l％．若用品質因數較低的后續電路放大、轉化時，苴轉換后的電參量準確度和一致性較難獲得。而電櫛的相對變換量可達l00％，這將使后續處理電路減少一些不必要的非線性放大環節，使信嚀離散程度和畸變點降到最低。

 

    （2）工作適應性較強。電容式傳感器-般可在高溫、低溫和有多種強輻射世[業干擾的環境下工作，其根本原因在于這種傳感器通常不必要采用有機材料或磁性材料。

 

    （3）溫度效應小。流量計傳感器傳感器所需的激勵強度較小，當傳感器采用真空或其他氣體作為絕緣介質時，介質損失相當小，可忽略小計，兇此自身發熱所造成的影響可不考慮。

 

    （4）動態響應速度快。流量計傳感器其動片的諧振頻率較高．可用于物理參基的動態測量。當被測物理量突然躍變時，其激勵響應速度可達。。級。從圖l9—2可以看出，若動樁板受被測物體作用而上下移動時，極距d的量值將發生變化，從而引起電容埴C的變化。從圖巾還可看出．同樣的位移Ad所引起的電容變化量Ac不同。原始極距輕小時，Ac較大；原始極距較大時，Ac較小。換句話說，初始極距?。疁y量是敏度高．反之則低。因此得出一個結論．C—d關系為非線性。

 

    為丁減少非線性對靈敏度的影響．變距式傳感器常般成差動形式。