ELIAS-I/-LD 系列中階梯光譜儀
的中階梯光柵光譜儀，在利特羅（Littrow）結(jié)構(gòu)中擁有的光譜解析能力-用于高分辨率的發(fā)射和吸收譜線的分析，尤其是準(zhǔn)分子激光光刻技術(shù)。
ELIAS-I/-LD 系列中階梯光譜儀的中階梯光柵光譜儀，在利特羅（Littrow）結(jié)構(gòu)中擁有的光譜解析能力-用于高分辨率的發(fā)射和吸收譜線的分析，尤其是準(zhǔn)分子激光光刻技術(shù)。
· Intensity dynamics of up to 4 orders
· 光譜解析能力 (2.5 million-10 million)
· *成像質(zhì)量
· 簡單沒有失誤的操作控制
ELIAS-I/-LD 系列中階梯光譜儀
ELIAS的超高分辨率得益于超大中階梯光柵的應(yīng)用及與之匹配的光路設(shè)計——中階梯光柵通過非常高的衍射級次可獲得*的理論分辨率（femtometer level）；LTB的工程師通過兩個方面的設(shè)計實現(xiàn)超大中階梯光柵的理論分辨率：
· 逼近衍射極限的消色差成像光路
· 足夠高的線色散來確保以5~10個像素（CCD）來解析光譜譜線的半高寬；
ELIAS利用寬達(dá)360mm的超大中階梯光柵（Echelle grating）以利特羅（Littow）自準(zhǔn)直結(jié)構(gòu)構(gòu)成光路；ELIAS不同于靠干涉方式測量光譜的分析設(shè)備，ELIAS的中階梯光柵的高衍射級次及高級次等效于零級的衍射能量分布，可通過CCD實現(xiàn)寬光譜直拍，因此ELIAS非常適合脈沖激光光譜的分析應(yīng)用（通過外部TTL觸發(fā)可協(xié)同激光器工作）。ELIAS可以配置背照型科學(xué)級CCD作為探測器可獲得非常理想的信噪比（104）
