昆山國華真空等離子清洗機發展歷程

真空等離子清洗機由真空發生系統、電氣控制系統、等離子發生器、真空腔休、機械等幾個部分組成，可以根據客戶的特殊要求定制符合客戶需要的真空系統，真空室。容易采用數控技術，自動化程度高；具有高精度的控制裝置，時間控制的精度很高；正確的等離子體清洗不會在表面產生損傷層，表面質量得到保證；由于是在真空中進行，*，保證清洗表面不被二次污染。

真空等離子清洗機是氣體分子在真空、放電等特殊場合下產生的物質，等離子清洗/刻蝕產生等離子體的裝置是在密封容器中設置。廣泛應用于表面去油及清洗等離子刻蝕，聚四氟（PTFE）及聚四氟混合物的刻蝕、塑料、玻璃、陶瓷的表面活化和清洗、等離子涂鍍聚合等工序，因此又應用于汽車電子領域、電子領域、PCB制成行業等高精密度領域。

真空等離子清洗機通過兩個電極形成電磁場，用真空泵實現一定的真空度，隨著氣體越來越稀薄，分子間距及分子或郭的自由運動距離也越來越長，受磁場作用，發生碰撞而形成等離子體，同時會發生輝光，等離子體在電磁場內空間運動，并轟擊被處理物體表面，達到去除表面油污以及表面氧化物，灰化表面有機物，以及其它化學物質，從而達到表面處理、清洗和刻蝕效果，經過等離子處理工藝可以實現有選擇的表面改性。

真空等離子清洗機運行過程如下：

1 ）被清洗的工件送入真空室并加以固定， 啟動運行裝置，開始排氣，使真空室內的真空程度達到10 Pa左右的標準真空度。一般排氣時間大約需要 2 min。 

2 ）向真空室引入等離子清洗用的氣體，并使其壓力保持在100 Pa。 根據清洗材質的不同，可分別選用氧氣、氫 氣、氬氣或氮氣等氣體。 

3 ）在真空室內的電極與接地裝置之間施加 高頻電壓，使氣體被擊穿，并通過輝光放電而發 生離子化和產生等離子體。讓在真空室產生的等離子體*籠罩住被處理工件，開始清洗作業。一 般清洗處理持續幾十秒到幾分鐘。

4 ）清洗完畢后切斷高頻電壓，并將氣體及氣化的污垢排出，同時向真空室內鼓入空氣，并使氣壓升至一個大氣壓。

昆山國華真空等離子清洗機發展歷程

等離子清洗機的作用針對不同的產品有不同的作用，不過也無外乎以下幾種：

等離子表面活化/蝕刻；等離子表面灰化/改性；提高材料表面的浸潤能力；增強材料表面的邦定性；去除材料表面的有機污染物、油脂或油污。

等離子清洗機的作用原理：

（A）對材料表面的刻蝕作用

物理作用 等離子體中的大量離子、激収態分子、自由基等多種活性粒子，作用到固體樣品表面，清除了表面原有的污染物和雜質，而且會產生刻蝕作用，將樣品表面變粗糙，形成許多微細坑洼，增大了樣品的比表面。提高固體表面的潤濕性能。

（B）激活鍵能，交聯作用

等離子體中的粒子能量在 0~20eV，而聚合物中大部分的鍵能在 0~10eV，因此等離子體作用到固體表面后，可以將固體表面的原有的化學鍵產生斷裂，等離子體中的自由基中的這些鍵形成網狀的交聯結構，大大地激活了表面活性。

（C）形成新的官能團

化學作用如果放電氣體中引入反應性氣體，那么在活化的材料表面會發生復雜的化學反應，引入新的官能團，如烴基、氨基、羧基等，這些官能團都是活性基團，能明顯提高材料表面活性