應(yīng)用
- 半導(dǎo)體工業(yè)
- UHP液體化學(xué)品輸配系統(tǒng)
功能特性
- 獲得的雙膜片設(shè)計
- *干燥：非金屬陶瓷傳感器，無充液
- 接液部件材質(zhì)為氟烷氧基 (PFA)
- 傳感器即使在安裝后也可以270°旋轉(zhuǎn)
- 防護等級高達IP 65或IP 67
- 可選：HYDRA-Indicator型面板安裝式或集成式顯示器
描述
HYDRA-line系列產(chǎn)品
HYDRA-line系列壓力測量儀表是我們和半導(dǎo)體企業(yè)（威卡客戶）聯(lián)合開發(fā)而成。所有該系列產(chǎn)品都滿足過程設(shè)備和UHP化學(xué)品輸配系統(tǒng)的特殊應(yīng)用要求。
HYDRA-Dry壓力傳感器具有高精度、高可靠性、超潔凈的接液部件和表面。產(chǎn)品沒有使用充液，不會造成污染。
此外，所有接液部件的生產(chǎn)、清潔組件的裝配、校驗和包裝均是在100級無塵室中完成的。
雙重安全
獲得的HYDRA雙膜片系統(tǒng)可以安全可靠地將壓力傳感器與工作介質(zhì)隔離開。此外，該型號產(chǎn)品還會將HF或HCI蒸汽等擴散介質(zhì)排到外部環(huán)境中，從而可防止造成錯誤的測量結(jié)果或破壞傳感器元件。
