電子探針X射線顯微分析儀
儀器名稱：電子探針X射線顯微分析儀 型 號：EPMA-1600 生產廠家：日本島津公司 儀器簡介：日本島津公司的EPMA－1600型電子探針，由四道譜儀、八塊分光晶體組成。此儀器不僅有較高的X射線檢出角，同時由于使用全聚焦的X射線分光晶體，能兼顧X射線檢測的高靈敏度和高分辨率，并配有高穩定的電子光學系統，真空系統及高精度機械系統以及牛津X-射線電制冷能譜儀，是目前的微區成分定量分析和形貌觀察的大型科研儀器之一。 儀器主要特點及技術指標： l 分析元素范圍： 4Be～94Pu l 電子束流穩定性：好于1.5×10-3/H l 二次電子像分辨率：6nm l 加速電壓：0~30kV l X射線檢出角：52.5° l 放大倍數：50×～300,000× l 分析速度：自動全元素定性分析時間≤60s l 樣品尺寸： l 樣品臺最小移動間距為0.01微米，機械系統精密度高 l 可觀察二次電子像（SEI)，背散射電子像(BEI)，吸收電子像，光學顯微像，X射線面分布像等。兼顧微區成分定量分析和形貌觀察 儀器主要功能及其用途： l 非破壞分析（分析時，被分析樣品不會損壞，可以實現同點重復分析） l 微米尺度的空間分辨分析 l 輕元素的定量分析 l 元素的面分布分析 l 痕量元素的成分分析
