電子光學
? 高性能電子光學鏡筒，雙陽極熱發射電子槍
? 固定式物鏡光闌，使用方便
?45°錐度物鏡極靴，及“穿過透鏡”的壓差真空系統
? 加速電壓: 200 V - 30 kV
? 束流:2 μA并連續可調
? 放大倍數: 13 x –1,000,000 x
分辨率
? 高真空
-30 kV下3.0 nm (SE)
-30 kV下4.0 nm (BSE) *
-3 kV下8.0 nm (SE)
? 高真空下減速模式*
-3 kV下7.0 nm *
? 低真空
-30 kV下3.0 nm (SE)
-30 kV下4.0 nm (BSE)
-3 kV下10 nm (SE)
檢測器
?E-T二次電子探頭
? 大視場低真空氣體二次電子探頭(LFD)
? 高靈敏度、低電壓固體背散射探頭*
? 樣品室紅外CCD相機*
? 四分固體背散射探頭*
? 閃爍體型背散射探頭/CLD*
?vCD (低電壓高襯度探頭)*
? 電子束流檢測器*
? 分析型氣體背散射探頭(GAD)*
?Nav-Cam™ – 光學相機彩色成像，用于樣品導航*
? 陰極熒光探測器*
? 能譜*
? 波譜*
?EBSD*
安裝要求
(更多的數據請參考“預安裝手冊”)
? 電源: 電壓230 V (+ 6 %, - 10 %),
頻率50 or 60 Hz (+/- 1 %)
? 耗電量: 電鏡基本系統< 3.0="">
? 接地: < 0.1="">
? 場地環境: 工作溫度15 °C - 25 °C；
? 相對濕度
< 80="" %="">
< 100="">
< 300="" nt="">
? 門寬: 90 cm
? 重量: 主機重量約450 kg
? 干燥氮氣(推薦使用): 0.7 - 0.8 bar,
放氣時流速10 l/min
? 噪音: < 68="" dbc="">
? 振動(需場地測試確定)
? 減振臺可選
節能措施
?Energy Star認證的顯示器和工作站
? 無需冷卻水和空壓機
簡便易用的低真空掃描電鏡及時、準確地得到答案
研究各種各樣的材料，并進行結構和成份表征，是目前對掃描電鏡的主流應用要求。簡便易用的Inspect™ S50是為這些研究量身定做的，具有較強的靈活性和通用性。Inspect S50能提供各種數據：包括表面像、成份像并結合元素分析結果；這些數據可用于確定材料的性質和成份構成。
當今人們利用掃描電鏡研究的材料早已超出單純的金屬和經導電噴涂處理過的樣品，Inspect S50能用來分析導電和不導電的樣品。它對典型材料，從金屬、斷口、拋光截面到不導電的軟物質等的表征十分方便和快速，能為研究者節省大量時間。其用戶界面簡捷、易學，但仍具有足夠的靈活性以應對挑戰。例如：標準的樣品導航功能，包括鼠標雙擊樣品臺移動和拖曳放大居中功能；SmartSCAN™，一種智能掃描技術，能更容易地降低信號噪音，提供更好的數據。它是電鏡專家設計來給電鏡專家使用的儀器，性能遠不止“簡便易用”。
Inspect S50可裝備很多新的特色技術，用于進行一些特殊的分析或研究目的。比如如電子束減速，一個可選功能，將鎢燈絲掃描電鏡的低加速電壓性能提高到一個全新的水平。Nav-Cam™ 彩色圖像導航器及新開發的探測器也大大增加了其靈活性。更多數據、更多靈活性、更高效率，Inspect S50的簡捷操作性能助您及時解決問題，使您的投資更具價值。
主要優點
? 直觀、簡便易用的軟件，即使電鏡新手也能輕易上手
? 方便地分析導電和不導電樣品
? 降低樣品制備要求:低真空技術使得不導電樣品不經導電處理即可直接成像和分析，樣品表面無電荷累積現象
? 的“穿過透鏡”的壓差真空系統，對導電和不導電樣品都可進行準確的EDS/EBSD分析，不管是在高真空模式或在低真空模式
? 穩定的大束流(> 2 μA)確?？焖?、準確的能譜及EBSD分析工作
? 對導電樣品，可選用減速模式得到表面和成份信息
真空系統
?1個70 l/s 渦輪分子泵, 1個機械泵
? 的“穿過透鏡”的壓差真空系統
? 電子束在氣體區域的行程：10 mm或2 mm
? 可升級成無油機械泵
? 樣品室真空度(高真空模式) < 6e-4="">
? 樣品室真空度(低真空模式) < 10="" to="" 270="">
? 典型換樣時間: 高真空模式≤150秒；
低真空及環境真空模式≤270秒(FEI標準測試程序)
樣品室
? 左右內徑284 mm
?10 mm分析工作距離
?8個探測器/ 附件接口
?EDS采集角: 35°
樣品臺
?X/Y = 50 mm
?Z = 50 mm (其中馬達驅動25 mm)
? 手動傾斜：15°- to + 75°
? 連續旋轉360°
? 重復精度: 2 μm (X/Y方向)
? 全對中樣品臺
樣品座
? 多樣品座
? 單樣品座
? 適用于硅片或其它特殊要求的樣品座*
系統控制
? 基于Windows® XP 操作系統的32位圖形用戶界面，
? 鍵盤，光電鼠標
?1個/2個* 19寸液晶顯示器, 分辨率1280 x 1024
? 軟件驅動的輸入/輸出共享器*
? 游戲操縱桿*
? 多功能控制板*
圖像處理器
?SmartSCAN™ 智能掃描技術
? 4096 x 3536像素
? 圖像文件格式：TIFF (8 or 16 bit), BMP or JPEG
?256 幀平均或積分
系統選項
? 減速模式
? 多功能控制板
? 支持計算機(包括第二個19寸液晶顯示器)
? 游戲操縱桿
? 樣品電流探測
? 遠程診斷
? 視頻打印機
? 樣品座套件
? 機械泵隔音罩
?7針或52針電氣接口
? 波譜儀接口
? 更換成無油機械泵套件
通用第三方附件
? 能譜儀
? 波譜儀
?EBSD
? 冷臺
? 陰極熒光譜儀
? 樣品電流探測器
? 納米機械手
?CAD導航
? 電子探針臺
軟件選項
? 遠程控制/觀察軟件
? 圖像分析軟件
? 基于Web的數據庫軟件
? 高度分布/粗糙度測量軟件
支持文檔
? 在線幫助
? 入門培訓CD
?RAPID™(遠程診斷軟件)
? 免費連接到FEI用戶群在線資源庫
? 免費加入FEI環境掃描用戶俱樂部
