Helios 5 CX DualBeam 結合Thermo Scientific™AutoTEM5 ™軟件，實現全自動原位 TEM 制樣。幫助不同經驗水平用戶獲取質量結果，制樣無需值守從而顯著提高工作效率。使用Helios 5 CX DualBeam 系統和 AS&V4 軟件制備樣品表面用于三維數據采集。
產品特點:
●小于10 nm 復雜結構的快速、準確、精確加工和沉積
●Tomahawk HT 離子鏡筒實現高質量、定點 TEM 和 APT 制樣
●高靈活度 110 mm 樣品臺和樣品倉 Nav-Cam 相機實現樣品處理和導航
●可選 AS&V4 軟件，精確定位感興趣區域，獲取質量、多模態內部和三維信息
●集成化樣品清潔管理和專用的 DCFI 和 Thermo Scientific SmartScan™等模式實現無偽影成像
●可選 AutoTEM 5 軟件，實現、、全自動、無人值守、多點原位和非原位TEM樣品制備和橫截面加工
●多達 6 個集成化鏡筒內及透鏡下探測器，采集優質、銳利、無荷電圖像，
提供最完整的樣品信息
● Elstar 電子鏡筒搭載 SmartAlign 和 FLASH 技術，可為任何經驗水平的用戶在最短時間內獲取納米尺度信息
