測量重復性為±20nm；
低阿貝誤差；
對湍流和大氣壓強的變化不敏感；
分辨率可選20nm；
易于安裝；
柵格和探頭之間的間隙為12mm；
對準誤差低；
可選真空版本；
完善技術支持，可定制；
標準的A-quad-B 輸出；
低成本的超精密XY計量系統。
高精度低成本的位置控制；
實時校準；
精密金剛石車削實驗室；
鏡頭自動對焦；
NG-B | |
系統性能 | |
重復性 | ±20nm |
精度（175mm×175mm）1 | ±200nm 滿量程 |
精度（380mm×380mm）1 | ±1.0um 滿量程 |
1（溫度變化±0.25℃） | |
速度2 | 1400mm/s |
2(V-MAX=[邊緣頻率] X [LSB]) | |
編碼器到探頭間距 | 12.0±0.1mm |
測量區域 | 40×45mm, 150×150mm |
工作溫度 | +10°C～+40°C |
存儲溫度 | –20°C～+70°C |
NG探頭 | |
外形尺寸 | 23.5×47.0×60.5mm |
外殼材料 | 6061-T6鋁 |
光源（785nm） | Class IIIb，3mw，激光二極管 |
重量（不包括線纜） | 110g |
接口線纜 | 3m，15針接頭 |
雙軸POLARFLASH處理器（A-quad-B） | |
分辨率（可選） | LSB=5um÷2N；N=5,6,7,8； |
邊緣頻率（可選） | 1.25，2.5，5，10MHz |
數據傳輸時間 | <4us< span=""> |
輸出格式 | A-quad-B差分TTL/每根軸 |
外形尺寸 | 127mm X 84mm X 24mm |
輸出格式 | 32位并行字 |
供電 | +5DVC（±0.25V）@350mA |
NG編碼器 | |
間距（機械/光學） | 10 μm / 5μm |
鈉鈣膨脹系數 | 7.0 × 10-6/°C |
石英（熔石英）膨脹系數 | 0.7 × 10-6/°C |
如果想采用其他材料，請咨詢工廠 | |
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