AFM5500M 專用原子力顯微鏡工作站選配項：SEM-AFM聯用系統大范圍水平掃描采用管型掃描器的原子力顯微鏡，針對掃描器圓弧運動所產生的曲面，通常通過軟件校正方式獲得平面數據。但是，用軟件校正方式不能消除掃描器圓弧運動的影響，圖片上經常發生扭曲效果。AFM5500M搭載了研發的水平掃描器，可實現不受圓弧運動影響的準確測試。高精角度測量普通的原子力顯微鏡所采用的掃描器，在豎直伸縮的時候，會發生彎曲（crosstalk）。這是圖像在水平方向產生形貌誤差的直接原因。AFM5500M中搭載的全新掃描器，在豎直方向上不會發生彎曲（crosstalk） ，可以得到水平方向沒有扭曲影響的正確圖像。SEM圖像對比度不同，可以通過SPM的高精度3D形貌測量和物理特性分析找到其原因。
AFM5500M是操作性和測量精度大幅提高，配備4英寸自動馬達臺的全自動型原子力顯微鏡。設備在懸臂更換，激光對中，測試參數設置等環節上提供全自動操作平臺。新開發的高精度掃描器和低噪音3軸感應器使測量精度大幅提高。并且，通過SEM-AFM共享坐標樣品臺可輕松實現同一視野的相互觀察?分析。
參數規格：
AFM5500M 主機
| 馬達臺 | 自動精密馬達臺 **觀察范圍：100 mm （4英寸）全域 馬達臺移動范圍：XY ± 50 mm、Z ≥21 mm 最小步距：XY 2 µm、Z 0.04 µm |
|---|---|
| **樣品尺寸 | 直徑：100 mm（4英寸）、厚度：20 mm 樣品重量：2 kg |
| 掃描范圍 | 200 µm x 200 µm x 15 µm （XY：閉環控制 / Z：感應器監控） |
| RMS噪音水平* | 0.04 nm 以下（高分辨率模式） |
| 復位精度* | XY: ≤15 nm(3σ、計量10 μm的標準間距) / Z: ≤1 nm (3σ、計量100 nm 的標準深度) |
| XY直角度 | ±0.5° |
| BOW* | 2 nm/50 µm 以下 |
| 檢測方式 | 激光檢測（低干涉光學系統） |
| 光學顯微鏡 | 放大倍率：x1 ～ x7 視野范圍：910 µm x 650 µm ～ 130 µm x 90 µm 顯示倍率：x465 ～ x3,255（27英寸顯示器） |
| 減震臺 | 臺式主動減震臺 500 mm（W） x 600 mm （D） x 84 mm （H）、約28 kg |
| 防音罩 | 750 mm(W) x 877 mm (D) x 1400 mm(H)、 約 237 kg |
| 大小?重量 | 400 mm（W） x 526 mm（D） x 550 mm（H）、約 90 kg |
* 參數與設備配置及放置環境相關。
| OS | Windows7 |
|---|---|
| RealTune®II | 自動調節懸臂振幅、接觸力、掃描速率以及信號反饋 |
| 操作畫面 | 操作導航功能、多窗口顯示功能（測試/分析）、3D圖像疊加功能、掃描范圍/測量履歷顯示功能、數據批處理分析功能、探針評估功能 |
| X, Y, Z掃描驅動電壓 | 0～150 V |
| 時時測試（像素點） | 4畫面（**2,048 x 2,048） 2畫面（**4,096 x 4,096） |
| 長方形掃描 | 2:1、4:1、8:1、16:1、32:1、64:1、128:1、256:1、512:1、1,024:1 |
| 分析軟件 | 3D顯示功能、粗糙度分析、截面分析、平均截面分析 |
| 自動控制功能 | 自動更換懸臂、自動激光對中 |
| 大小?重量 | 340 mm（W） x 503 mm（D） x 550 mm（H）、約 34 kg |
| 電源 | AC100 ～ 240 V ±10% 交流 |
| 測試模式 | 標配：AFM、DFM、PM（相位）、FFM 選配：SIS形貌、SIS物理特性、LM-FFM、VE-AFM、Adhesion、Current、Pico-Current、SSRM、PRM、KFM、EFM（AC）、EFM（DC）、MFM |
* WINDOWS 是、美國 Microsoft Corporation 在美國及美國以外國家注冊商標。
* RealTune是日立高新科學公司在日本、美國以及歐洲的注冊商標。
| 可適用的日立SEM型號 | SU8240、SU8230（H36 mm型）、SU8220（H29 mm型） |
|---|---|
| 樣品臺大小 | 41 mm（W） x 28 mm（D） x 16 mm （H） |
| **樣品尺寸 | Φ20 mm x 7 mm |
| 對中精度 | ±10 µm （AFM對中精度） |
產品特點：
1. 自動化功能
降低檢測中的人為操作誤差
4英寸自動馬達臺 自動更換懸臂功能
2. 可靠性
排除機械原因造成的誤差
Sample ：Amorphous silicon thin film on a silicon substrate
Sample : Textured-structure solar battery(having symmetrical structure due to its crystal orientation.)
* 使用AFM5100N（開環控制）時
3. 融合性
親密融合其他檢測分析方式
通過SEM－AFM的共享坐標樣品臺，可實現在同一視野快速的觀察?分析樣品的表面形貌，結構，成分，物理特性等。
SEM-AFM在同一視野觀察實例（樣品：石墨烯/SiO2）
The ovrlay images createed by using AZblend Ver.2.1, ASTRON Inc.
上圖是AFM5500M拍攝的形狀像（AFM像）和電位像（KFM像）分別和SEM圖像疊加的應用數據。
石墨烯層數不同導致表面電位（功函數）的反差。
今后計劃與其他顯微鏡以及分析儀器的聯用。
