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晶圓去膠剝離機

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地上海
  • 更新時間2024-04-15
  • 廠商性質生產廠家
  • 所在地區上海市
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  • 產品數量1842
  • 人氣值13639
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輔光精密儀器是的進口精密儀器和實驗室儀器設備供應商,是*基于激光和成像等*光子技術分析測試儀器的規模性進口商和代理商,服務商。

輔光儀器公司以精密光學技術為特色,以光學應用為宗旨,以歐洲,北美和日本進口精密儀器為主業,為中國客戶提供*分析測試儀器產品,促進*光學技術產品在中國的應用和相關技術水平提升。
21世紀是光學世紀,激光,光譜,光學成像等光學技術*地促進生物光子學,燃燒和流體力學光學診斷,光譜測試分析等學科發展和技術提升,成為前沿科學和*制造*的分析,計量,測試和實驗工具手段,因此“光學”成為“精密”的代名詞,是*精密測試分析的有力實驗技術。
輔光精密儀器公司就是這樣一個以光學為特色的進口儀器和實驗室設備公司,擁有中國較為齊全的進口精密(光學)儀器種類,龐大而可靠的國外生產商群體,和快捷高效的貿易體系,是用戶信賴的進口分析測試技術儀器和實驗室儀器的旗艦型供服務商。
公司價值
經驗豐富的激光和光學技術工程師幫助用戶出具方案,確認適合應用的精密光學儀器和科學儀器裝置,為用戶提供“舒心,省心”的進口體驗。
以豐富的進口操作經驗和電子商務管理體系,高效溝通國外制造商,為用戶提供高效的儀器進口和購置服務!

*的經營特色

孚光精儀專注于提供歐洲,北美和日本等光學技術*地區原產的基于光學、光譜和激光技術的精密儀器和設備。公司多數員工來自物理,半導體和生物光子學專業,具有扎實的專業知識和豐富的應用經驗。

齊全的光學種類
涵蓋了所有光學和激光技術應用領域和相關儀器
      熒光光學成像儀器 (包括FRET系統,TIRFM顯微鏡系統, 鈣成像顯微鏡系統,熒光壽命成像系統,生物發光和熒光發光成像系統等生物光子學儀器)
      分子生物學光學儀器( 包括凝聚成像,生物發光和熒光發光成像系統等)
      醫用光學儀器(內窺成像,生物活檢成像,輻射成像等)
      光譜分析測試儀器 (激光拉曼光譜儀, FTIR光譜儀,LIBS光譜儀等)
      激光粒度儀器 (基于激光和圖像技術的粒度和濃度測試儀器)
      光學成像儀器 (高速成像,紅外熱成像,X射線成像)
      光譜成像系統 (包括高光譜成像,多光譜成像儀器)
      燃燒和流體力學光學診斷技術和儀器 (基于激光和成像技術,融合光譜分析技術組建PIV,PLIF,溫度探測,燃燒分析成像等儀器)
      無損光學檢測儀器(如果激光散斑干涉,EPSI,X射線成像,熱成像,光學內窺等儀器)
      AFM, SEM,SPM等特種光學顯微鏡
      通用實驗室儀器和設備(包含所有涉及光學技術的實驗儀器)
服務和應用領域
       生物光子學
       生命科學
        醫學成像
        制藥
        食品工程
        化學和化工
        實驗室儀器和實驗室建設
       流體力學
       工程熱物理
       燃燒診斷分析
       發動機研發
       航空航天
       地球物理科學
       地質和石油勘探
        半導體和微電子
        *制造
        新能源
        材料科學
        儀器科學與技術
         -------
客戶群體
       高等院校
       *系統研究院所
       中國國有企業及其研究院所
       *
       外資企業
高效的服務體系
總部位于上海,在上海自貿區和天津自貿區具有倉庫,在香港設立貿易公司,擁有遍布全國的代理商,供應商遍布美國、德國、英國、法國、意大利、奧地利、瑞典、捷克、立陶宛、愛沙尼亞等精密儀器*國家和地區。

公司受益于香港便捷的貿易條件以及上海自貿區和天津自貿區的高效進口程序,為客戶提供高效技術儀器進口服務,為制造商提供高效出口服務。

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晶圓去膠剝離機RSS系列是ULTRA光刻膠清洗機器,適合晶片、光掩模和基板清洗去膠剝離工藝需求
晶圓去膠剝離機 產品詳情
晶圓去膠剝離機RSS系列是ULTRA光刻膠清洗機器,適合晶片、光掩模和基板清洗去膠剝離工藝需求。晶圓去膠剝離機RSSx 124、126、128或133專門配置用于晶片、光掩模和基板的基于負和正光致抗蝕劑的工藝。
晶圓去膠剝離機非常可靠且經濟高效,采用了經過驗證的各種光刻膠剝離和清潔技術。晶圓去膠剝離機RSSx可配置有多個清潔選項,包括硫酸過氧化物、表面活性劑和/或DI-H2O的刷子;用于DI-H2O或化學制品的Megasonic噴嘴;用于化學配藥的低壓噴嘴;化學和DI-H2O加熱器;還有更多。快速有效的干燥技術結合了可變的旋轉速度;可選加熱的DI-H2O;和氮輔助。該晶圓去膠剝離機系統非常安全,具有“沖洗至pH”功能,可在接觸基質之前去除腔室內的任何化學物質。
晶圓去膠剝離機特點
•設計用于重要控制和安全的系統
•可調式卡盤,可安裝4x4”至9x9”半自動變速箱帶腔室基板的標準光掩模,適合高達300mm直徑晶圓
•能夠實現65nm節點和更好的處理。
•帶伺服電機的主軸組件。
•帶可編程自動變速器的擺動電刷組件用于化學和加熱的雙氧水分配的上/下和自清潔。
•振蕩加熱的DI-H2O低壓分配臂。
•背面加熱的DI-H2O,用于剝離和干燥輔助。
•全密封和徑向排氣室,用于:來自蓋子的N2進料的層流。
•安全沖洗至整個工藝區域和基底的pH值禁止進入工藝和排水分流器的聯鎖裝置用于化學和沖洗DI-H2O的閥門
•采用聚四氟乙烯涂層不銹鋼的聚偏氟乙烯工藝室鋼表面和獨立聚丙烯機柜。
•帶液位傳感和數字傳感器的化學用于Nano Strip®或Pure Strip®罐的流量計。
•具有三十(30)種配方的微處理器控制,具有:觸摸屏圖形用戶,每個步驟三十(30)步可調節臂速度和行程的界面(GUI)位置、屏幕錯誤報告和安全。
•帶按鈕打開/關閉的平蓋
•RSSx124型:29.5英寸寬X 35.25英寸深,最多兩個處理臂
•RSSx126型:34.5英寸寬X 35.25英寸深,最多四個工藝臂
•設計符合SEMI S2/S8指南
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