Leica DM12000 M智能材料金相顯微鏡 ——精密的觀察和復(fù)檢系統(tǒng)
徠卡DM12000M全新的光學(xué)設(shè)計(jì),可以提供宏觀模式快速初檢,以及傾斜紫外光路功能(OUV, 傾斜紫外觀察模式) ，不單提升了分辨率還提高了檢查12英寸(300毫米)硅片的產(chǎn)能。
的 LED 照明技術(shù)與一體化設(shè)計(jì)整合在顯微鏡上，低熱輻射和機(jī)身內(nèi)一體化技術(shù)確保了的機(jī)身外空氣流動(dòng)狀態(tài)。低能耗的節(jié)電設(shè)計(jì)大大延長(zhǎng)了使用壽命,符合綠色環(huán)保的理念。
一鍵式的操控設(shè)計(jì)使用戶可以輕易地完成倍率轉(zhuǎn)換和相關(guān)的照明和相襯效果。
品質(zhì)特征
● 高級(jí)智能數(shù)字式正置材料顯微鏡,適合晶圓、電子元器件、金屬、陶瓷、高分子材料、電子元器件、粉塵顆粒等樣品的觀察分析,多種安全設(shè)計(jì),保護(hù)品圓,鏡頭及觀察者；
● 模塊化設(shè)計(jì),可實(shí)現(xiàn)反射觀察、透反射觀察配置；
● 復(fù)消色差光路,整體光路支持25mm視野直徑；
● 可選配UV光源,提高觀察分辨率至亞微米結(jié)構(gòu),UV由大功率LED產(chǎn)生,具有UV和OUV功能；
● 12×12大樣品臺(tái),可觀察晶圓,LCD等大尺寸樣品；
● 6孔位電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤,配接32mm直徑長(zhǎng)工作距離工業(yè)物鏡；
● 內(nèi)置電動(dòng)或手動(dòng)調(diào)焦系統(tǒng)；
● 0.7X宏觀物鏡,具有宏觀晶圓檢查功能；
● 可實(shí)現(xiàn)明場(chǎng)、暗場(chǎng)、偏光、干涉和斜照明觀察方式；
● 機(jī)身內(nèi)置LED透、反射照明電源,智能光強(qiáng)變化控制照明方式；
● 能自動(dòng)記憶在不同物鏡下和不同觀察方式下的光強(qiáng)、光闌大小及聚光鏡的組合,自動(dòng)恢復(fù)到位,操作簡(jiǎn)單快速；
● 機(jī)座配觸摸按鈕,控制顯微鏡的操作；
● 光強(qiáng)、光闌、觀察方式和聚光鏡調(diào)節(jié)可由按鍵和計(jì)算機(jī)控制操作,并自動(dòng)在不同倍數(shù)物鏡下
● 拍的照片中加相應(yīng)倍數(shù)標(biāo)尺；
● 具有色溫恒定系統(tǒng),提供工作效率；
● 可配接攝像頭,數(shù)碼相機(jī)進(jìn)行圖像采集、分析、測(cè)量；
● 可配接熒光觀察、高溫?zé)崤_(tái)、陰極發(fā)光儀、光度計(jì)；
● 可配接自動(dòng)掃描臺(tái)進(jìn)行多視場(chǎng)非金屬夾雜物分析和顆粒粒度、清潔度分析。
參數(shù)/型號(hào) | Leica DM 12000M |
光學(xué)系統(tǒng) | Leica HC 光學(xué)器件 (光學(xué)系統(tǒng)校正至無(wú)限遠(yuǎn)) |
觀察鏡筒 | 三目人工學(xué)鏡筒，直立和同向圖像 |
切換位置 (目鏡/攝像頭)： 100/0 和 0/100，100/0 和 50/50 | |
宏觀成像 | 超廣視野概覽圖像，樣品上掃描區(qū)域 40 mm |
照明系統(tǒng) | 全 LED 入射光照明；觀察技術(shù)：亮場(chǎng)、暗場(chǎng)、微分干涉相襯、定性偏振、斜射照明、紫外線、斜射紫外線 |
全 LED 透射光照明；觀察技術(shù)：亮場(chǎng)、定性偏振 | |
狀態(tài)反饋 | 正面的狀態(tài)指示器 |
工作間隔指示器 (儀器背面) | |
操作支持 | 內(nèi)置相襯管理器及科勒照明管理系統(tǒng) |
物鏡轉(zhuǎn)換盤 | 手動(dòng)檢驗(yàn)載物臺(tái) 12 x 12”；302 x 302 mm 移動(dòng)范圍，內(nèi)置快速調(diào)節(jié) |
掃描載物臺(tái) 12 x 12”；302 x 302 mm 移動(dòng)范圍，電動(dòng)，4 mm 高度 | |
控制單元 | 操縱桿，帶 4 個(gè)可自由編程的功能鍵 |
Leica SmartMove，x、y、z 控制，帶 4 個(gè)可自由編程的功能鍵 | |
Leica STP6000 SmartTouch，x、y、z 控制，帶 4 個(gè)可自由編程的功能鍵 | |
聚焦 | 耐用型手動(dòng) 2 級(jí)聚焦，粗調(diào)和微調(diào)模式；35 mm 移動(dòng)范圍；高度可調(diào)式聚焦手柄 |
精準(zhǔn) 3 級(jí)聚焦，粗調(diào)、微調(diào)和超微調(diào)模式；35 mm 調(diào)節(jié)范圍；高度可調(diào)式聚焦手柄 | |
電動(dòng) 2 級(jí)聚焦；35 mm 移動(dòng)范圍；強(qiáng)重復(fù)能力；齊焦補(bǔ)償 | |
電氣系統(tǒng) | 供電電壓：100120/220–240 V AC (%)，50/60 Hz |
重量 | 約 52 kg (其中顯微鏡約 36.5 kg) |
應(yīng)用 | 圓晶、電子元器件、金屬、陶瓷、高分子材料、粉塵顆粒 |
