氣浮式大行程影像測量儀VMS型
氣浮式大行程影像測量儀儀器介紹：采用龍門式結(jié)構(gòu)（橋架式），結(jié)構(gòu)穩(wěn)定不變形，主要運(yùn)用在PCB線路板、覆銅板、平板玻璃、液晶模組、刀模、絕緣材料等。
氣浮式大行程影像測量儀儀器特點(diǎn)：該系列氣浮式大行程影像測量儀采用龍門式結(jié)構(gòu)（橋架式）運(yùn)行性能穩(wěn)定，且機(jī)構(gòu)穩(wěn)定不變形。X、Y、Z三軸均采用伺服電機(jī)、全采用雙重閉環(huán)運(yùn)動控制、可保證電機(jī)在中、高速動動時的穩(wěn)定性，和準(zhǔn)確的定位功能，影像Z軸可自動對焦、配合美國Navitar自動變焦鏡頭，可實現(xiàn)自動變焦而不需倍率校正。
氣浮式大行程影像測量儀型號及規(guī)格參數(shù)
| 影像測量儀系列型號 | VMS5030（氣浮型） | VMS6040（氣浮型） | |||||||||
| 工作臺 | 金屬臺面尺寸（mm） | 760×640 | 730×530 | ||||||||
| 玻璃臺面尺寸（mm） | 550×350 | 650×450 | |||||||||
| 運(yùn)動行程（mm） | 500×300 | 600×400 | |||||||||
| Z軸升降行程 | 200mm | ||||||||||
| 工作距離 | 92mm | ||||||||||
| X、Y、Z數(shù)顯解析度 | 1μm | ||||||||||
| X、Y坐標(biāo)示值誤差 | ≤（3+L/200）μm | ||||||||||
| 影像系統(tǒng) |
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| 測量系統(tǒng) | Mclns全自動測量軟件 | ||||||||||
宏康氣浮式大行程影像測量儀
