【儀表網 行業標準】近日，江蘇省市場監督管理局發布了江蘇省地方計量技術規范《光學顯微干涉式三維表面形貌測量儀校準規范》，實施日期2023年4月1日。
 

　　光學顯微干涉式三維表面形貌測量儀是一種利用光學干涉原理對樣品表面三維形貌進行精密測量的儀器，在樣品表面垂直方向上可以達到亞納米級的分辨力，廣泛應用于材料、半導體等領域。大多數情況下，測量儀使用白光作為光源，故也被稱作白光干涉儀。
 

　　測量儀由主機與控制系統共同構成，其坐標系與測量回路示意圖見圖1。根據干涉顯微鏡結構的不同，測量儀分為邁克爾遜(Michelson)、米勞(Mirau)和林尼克(Linnik)三種。
 

　　本規范依據JJF 1071《國家計量校準規范編寫規則》編制，規范中的通用計量術語符合JJF 1001《通用計量術語及定義》，附錄中的測量不確定度示例依據JJF 1059.1-2012《測量不確定度評定與表示》評定。
 

　　本規范主要參考ISO 25178-603:2013 產品幾何量技術規范(GPS) 表面結構 區域法 第603部分 非接觸 (相移干涉顯微) 式儀器的標稱特性(Geometrical product specifications (GPS)-Surface texture:Areal Part 603: Nominal characteristics of non-contact (phase-shifting interferometric microscopy) instruments) 、ISO 25178-604:2013 產品幾何量技術規范(GPS) 表面結構 區域法 第604部分 非接觸 (相干掃描干涉) 式儀器的標稱特性(Geometrical Product Specifications (GPS) — Surface texture: Areal—Part 604 : Nominal characteristics of non-contact (coherence scanning interferometry) instruments)等編制而成。
 

　　依據JJF 1071《國家計量校準規范編寫規則》，本規范在架構上包括：范圍；引用文件；概述；計量特性；校準條件；校準項目和校準方法；校準結果表達；復校時間間隔以及附錄等內容。
 

　　校準環境條件：
 

　　儀器使用允許的環境條件，測量過程中應測量和記錄環境的溫度、濕度。使用的標準器，應在測量環境中穩定不小于0.5h。實驗室內應無影響校準結果的振動、電磁輻射等因素。
 

　　測量標準及其他設備：
 

       校準結果表達：

 

　　經校準的測量儀出具校準證書，校準證書內容見附錄C。
 

　　復校時間間隔：
 

　　校準時間間隔，根據儀器使用情況由用戶自行確定，建議為一年。
 

　　本規范為首次發布。本規范適用于光學顯微干涉式三維表面形貌測量儀的校準。(更多詳情請見附件)