【儀表網(wǎng) 儀表研發(fā)】2016年5月5日，科技部在武漢組織召開了首批國家重大科學儀器設備開發(fā)專項項目“寬光譜廣義橢偏儀設備開發(fā)”（項目編號：2011YQ160002）綜合驗收會議。該項目由武漢光迅科技股份有限公司牽頭，華中科技大學為儀器開發(fā)技術(shù)支持單位，武漢新芯集成電路制造有限公司、武漢珈瑋光伏照明有限公司、武漢光電國家實驗室（籌）為應用開發(fā)單位，武漢頤光科技有限公司為產(chǎn)業(yè)化單位。
　　

　　天津大學葉聲華院士、華東師范大學曾和平教授、中科院上海光機所周常河研究員、北京光學儀器廠駱東淼教授級高工等11名專家組成了本次會議驗收技術(shù)專家組，葉聲華院士任專家組組長。驗收會由科技部國家科技評估中心毛建軍副主任主持，湖北省科技廳條件處魏敏杰處長等出席會議。
　　
　　項目負責人劉世元教授代表項目組對項目執(zhí)行完成情況進行了詳細匯報。截止項目驗收時，研制完成寬帶消色差補償器、高精度雙旋轉(zhuǎn)補償器同步控制等核心部件與關(guān)鍵技術(shù)，開發(fā)出具有自主知識產(chǎn)權(quán)的寬光譜廣義橢偏儀設備4臺；獲授權(quán)發(fā)明3件，授權(quán)國內(nèi)發(fā)明29件，軟件著作權(quán)8件，商標權(quán)1件。獲日內(nèi)瓦發(fā)明獎金獎1項，發(fā)表SCI學術(shù)論文50篇；形成設計圖紙、工程工藝、軟件代碼等完整技術(shù)文檔各1套，質(zhì)量和可靠性保障方案1套；建成中試生產(chǎn)線1條，銷售儀器產(chǎn)品2臺。
　　
　　匯報結(jié)束后，專家組現(xiàn)場審閱了相關(guān)資料，隨后前往產(chǎn)業(yè)化單位武漢頤光科技有限公司考察了寬光譜廣義橢偏儀設備產(chǎn)品，對產(chǎn)品指標和性能進行了現(xiàn)場測試與考核，并就項目完成情況及產(chǎn)業(yè)化進展提出現(xiàn)場質(zhì)詢。經(jīng)認真討論，驗收專家組認為，該項目實施情況良好，完成了預期目標并達到全部考核指標，一致同意通過驗收。
　　
　　橢偏儀是一種測量偏振光狀態(tài)改變的重要科學儀器，本項目研制的廣義橢偏儀（也稱穆勒矩陣橢偏儀）代表了橢偏儀高水平，可以測得一個44階的穆勒矩陣共16個參數(shù)，因而可以獲得更為豐富的測量信息。橢偏儀廣泛應用于材料光學常數(shù)、納米薄膜厚度及表面特性表征等基礎科學研究與納米制造相關(guān)產(chǎn)業(yè)，應用范圍涵蓋集成電路、光伏太陽能、平板顯示、LED照明、存儲、生物、醫(yī)藥、化學、電化學、光學薄膜等眾多領(lǐng)域。
　　
　　（原標題：國家重大科學儀器設備開發(fā)專項“寬光譜廣義橢偏儀設備開發(fā)”順利通過項目綜合驗收）