【儀表網(wǎng) 儀表研發(fā)】2019年3月22日，國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)“跨尺度微納米測量儀的開發(fā)和應(yīng)用”項(xiàng)目初步驗(yàn)收會議在上海市計(jì)量測試技術(shù)研究院召開。會議由國家市場監(jiān)管總局科財(cái)司主持，中國計(jì)量測試學(xué)會理事長蒲長城擔(dān)任專家組組長，上海市市場監(jiān)管局、上海市科委領(lǐng)導(dǎo)出席會議。
 

 

　　“跨尺度微納米測量儀的開發(fā)和應(yīng)用”項(xiàng)目于2014年10月正式獲得國家科技部批準(zhǔn)立項(xiàng)。由上海計(jì)測工程設(shè)備監(jiān)理有限公司牽頭，上海市計(jì)量測試技術(shù)研究院提供技術(shù)支撐。總經(jīng)費(fèi)7681萬元，其中中央財(cái)政專項(xiàng)經(jīng)費(fèi)投入3731萬元，終，該項(xiàng)目將形成年產(chǎn)50臺生產(chǎn)能力，累計(jì)銷售收入5000萬元。
 

　　項(xiàng)目研究的內(nèi)容主要是突破我國在微納米檢測技術(shù)領(lǐng)域檢測方法集成開發(fā)的諸多技術(shù)瓶頸，攻克宏微聯(lián)動多軸驅(qū)動和多測頭集成、基于原子沉積光柵的納米量值溯源等關(guān)鍵技術(shù)，研制用于計(jì)量、工業(yè)生產(chǎn)、產(chǎn)品檢測中微形貌和幾何尺寸測量的微納米測量儀，并構(gòu)建跨尺度、高精度微納米測量與研發(fā)平臺，為我國國防、航空航天、半導(dǎo)體制造業(yè)、微機(jī)電產(chǎn)業(yè)、大氣污染物防治等領(lǐng)域提供有效的納米計(jì)量技術(shù)的支持和保障，提升我國高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)中微納米尺寸定量化測量的技術(shù)水平。
 

　　目前，項(xiàng)目已經(jīng)開發(fā)出6種不同型號跨尺度微納米測量儀，攻克了宏微結(jié)合多軸驅(qū)動和復(fù)合式測頭集成、原子沉積光柵納米量值溯源、雙角度傾斜式場掃描等關(guān)鍵技術(shù)。項(xiàng)目開發(fā)的雙測頭——光學(xué)干涉測頭和掃描探針顯微測頭垂直方向具有納米級分辨力，結(jié)合自主開發(fā)的跨尺度微納米測量儀軟件，能實(shí)現(xiàn)高度(深度)、表面粗糙度和平面度測量功能。項(xiàng)目成果可應(yīng)用于航空航天、微電子、環(huán)境監(jiān)測等領(lǐng)域，為提升我國微納米領(lǐng)域測量能力奠定了基礎(chǔ)。
 

　　驗(yàn)收會上，項(xiàng)目負(fù)責(zé)人邵力院長、技術(shù)負(fù)責(zé)人同濟(jì)大學(xué)李同保院士以及各任務(wù)負(fù)責(zé)人向?qū)＜医M做了項(xiàng)目和任務(wù)的技術(shù)成果匯報(bào)。專家組根據(jù)初步驗(yàn)收要求，著重對項(xiàng)目及下設(shè)的任務(wù)進(jìn)行驗(yàn)收。專家組審閱了相關(guān)資料，并現(xiàn)場參觀了項(xiàng)目成果“跨尺度微納米測量儀”樣機(jī)。經(jīng)專家質(zhì)詢和討論，專家組形成驗(yàn)收意見并一致同意項(xiàng)目通過本次驗(yàn)收。
 

　　(資料來源：上海市計(jì)量測試研究院、國家市場監(jiān)督管理總局、科技部)