【儀表網 儀表研發】2019年9月9日，中科合創(北京)科技成果評價中心組織專家，在北京召開了由英諾激光科技股份有限公司完成的“AONANO-XP系列MOPA-ns激光器技術”等三項項目科技成果評價會。
 

　　英諾激光股份有限公司成立于2011年，是國家高新技術企業，總部位于深圳市南山區科技園，專注于微加工領域激光器的研發、生產、銷售及以激光模組形式為客戶提供定制化微加工解決方案。公司是少數同時具有納秒、亞納秒、皮秒、飛秒級微加工激光器核心技術和生產能力的工業激光器生產廠商，是少數實現工業深紫外納秒激光器批量供應的生產商之一。產品包括DPSS調Q納秒激光器、超短脈沖(皮秒、飛秒)激光器和MOPA(納秒/亞納秒)激光器，涵括從紅外到深紫外不同波段、從納秒到飛秒多種脈寬。
 

　　專家組審閱了技術方提供的技術資料，聽取了技術研究匯報，經質詢、答疑和討論，形成相關意見。
 

　　其中，“AONANO-XP系列MOPA-ns激光器技術”提供的技術資料基本齊全，符合科技成果評價要求；該技術設計并采用主振蕩器功率放大(MOPA)結構的光纖激光器，輸出線性偏振紅外，并轉換成綠光、紫外到深紫外波段的納秒脈沖，光束質量M2小于1.2、脈沖寬度100ps~5ns可調、脈沖重復頻率10kHz~2MHz可選、峰值功率大于25kW；該技術在MOPA結構的光纖激光器中使用自主研發的多程光纖放大器，獲得了平均功率超過120W的1064nm@1MHz紅外光的納秒輸出。在太陽能等領域得到應用；該技術獲得多項。專家組同意通過科技成果評價，整體技術達到先進水平。
 

　　AOPICO系列高功率紫外皮秒激光器提供的技術資料基本齊全，符合科技成果評價要求；該技術利用SESAM鎖模技術在光纖中產生皮秒脈沖，基于MOPA結構進行放大，然后通過固體放大器以及非線性轉換模塊，輸出紫外波段的高能量皮秒脈沖，光束質量M2小于1.2、脈沖重復頻率從單脈沖至1.5MHz、平均功率35W@800kHz；該技術設計并采用了光纖種子源、固態放大技術，兼具了兩者技術優勢。同時，自主設計了工作頻率高于1MHz的高速電路和相關軟件，激光器的輸出脈沖能量不隨工作頻率改變而改變。在消費類電子等領域得到應用；該技術申請多項。專家組同意通過科技成果評價，整體技術達到先進水平。
 

　　FORMULA系列高功率紫外納秒激光器技術項目提供的技術資料基本齊全，符合科技成果評價要求；該技術利用腔內三倍頻技術，實現了平均功率高于30W的紫外激光輸出，從紅外到紫外的能量轉換效率接近50%；該技術采用自主設計的激光諧振腔、溫度控制技術、以及基于FPGA的高速信號處理，使得激光器具有光束質量M2小于1.2、光斑圓度大于95%，以及脈沖峰值功率穩定性小于2%(rms)，12小時平均功率穩定性小于0.5%(rms)。在消費類電子領域得到應用；該技術獲得多項。專家組同意通過科技成果評價，整體技術達到先進水平。
 

　　(資料來源：英諾激光科技股份有限公司、中科合創(北京)科技成果評價中心)