【儀表網 儀表會議】近日，2019屆平面計量研討會在上海舉行。會議由上海理工大學主辦，中國工程院信息與電子工程學部、中國計量科學研究院、中國航空工業(yè)集團公司北京長城計量測試技術研究所、中國測試技術研究院、蘇州慧利儀器有限責任公司聯合主辦。會議由中國工程院李同保院士主持，江蘇計量院長度所平面度項目負責人楊慧敏參加了此次會議。
中國工程院院士莊松林、李同保，中國工程院外籍院士顧敏等5位院士，共同擔任本次研討會的會議主席。莊松林致開幕辭，來自國內平面度測量領域的專家長春光機所副所長張學軍、中國測試技術研究院副所長冉慶，上海理工大學的王浩宇博士、萬新軍博士，德國的聯邦物理技術研究所主任Gerd Ehret、英國南安普頓大學教授John Mcbride、德國斯圖加特大學主任Pedrini Giancarlo等平面度專家分別在研討會上發(fā)表了專題報告。
報告內容涉及超高精度平面和平板面形波前干涉檢測技術研究、大口徑平面平晶的檢測方法比對、干涉儀在半導體單晶硅片檢測上的應用，光學和光波面平面度的溯源計量，移相平面等厚干涉儀測量不確定度分析，在會議上，德國PTB平面度實驗室還公布了2018年平面度參數比對數據和結果。
本次研討會起點高，專業(yè)性強，聚焦平面度專業(yè)計量技術領域發(fā)展、熱點話題、關鍵挑戰(zhàn)等問題，深入研討了平面度測量和高精度平面制造加工的難點和發(fā)展方向，有效推動計量測試技術發(fā)展，促進了行業(yè)技術交流與合作，對江蘇計量院平面度項目建設具有指向性和針對性的指導意義。
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