【儀表網 儀表上游】據媒體報道，新松機器人宣稱擬募資18.03億元主要用于建設半導體領域半導體設備及自動化項目，用于IC真空機械手及集束型設備項目、半導體自動物料搬運系統項目、半導體物料管理控制系統項目以及補充流動資金。

 

　　作為國內僅有的一家真空機械手的供應商，去年機器人真空機械手已批量應用于北方華創(002371)、中科院微電子研究所等企業和機構，有望在國內全面推廣。
 

　　新松機器人成立于2000年，隸屬中國科學院，是一家從事機器人產業化和實現機器人出口的企業。新松機器人產品線齊全，涵蓋工業機器人、潔凈機器人、移動機器人、特種機器人及智能服務機器人五大系列。
 

　　機器人進軍半導體行業是一種挑戰
 

　　半導體行業包括了眾多領域，在這些領域當中又有著很多復雜的工序，比如前期的晶體制造、中期的封裝集成，還有后期的組裝包裝、運輸等等。機器人進軍半導體行業既是一種挑戰也是一種趨勢，機器人本身需要具有易使用、性能靈活輕便，不僅要滿足無塵空間的等級要求，還要小心易碎的產品，對極為細微的器件需要高度精準地定位、放置和組裝。
 

　　半導體行業對工業機器人的要求十分嚴格，在真空環境下，要保證機器人的潔凈度，因為半導體產品的特殊性，還要求機器人防震，防抖動，靜音生產，能夠有精準到5mm的重復定位等等。
 

　　進軍半導體市場，抓住產業鏈遷移機遇
 

　　隨著半導體產業向中國大陸遷移，英特爾、三星等大廠陸續在我國大陸地區投資建廠，大陸對半導體領域自動化設備需求提升。
 

　　基于此，新松開始進軍半導體裝備領域：2009年、2011年新松開始承擔兩大國家集成電路“02專項“項目，加大了對半導體設備的研發；2018年，新松機器人開始設立半導體裝備BG，主要面向以芯片制造，面板制造為代表的泛半導體領域，提供設備與自動化解決方案。目前，新松已經成功研發了國內首臺具有獨立知識產權的新型雙臂大氣機械手，并且通過了終端用戶華創、中微等客戶驗證。
 

　　除了在產品開發上加大力度，新松在資本層面也采取了相應動作。2018年1月，新松以約6.4億元人民幣收購韓國半導體設備企業新盛旗下公司80%的股權。不難看出，通過這些舉措，新松希望在下一個行業爆發點來臨前搶占先機。
 

　　擬募資18億新建半導體設備
 

　　新松此次擬向特定對象發行*募集資金總額不超過18.03億元用于IC真空機械手及集束型設備項目、半導體自動物料搬運系統項目、半導體物料管理控制系統項目以及補充流動資金。
 

　　此前新松已研制了系列化潔凈真空機器人產品，包括大氣機械手系列產品(潔凈度達到 Class1)、集成電路裝備真空機械手系列產品(真空度達到高 1×10-6 Pa)。真空直驅機器人打破國外壟斷，可以實現直接替代；自動物料搬運系統(AMHS)系統設備主要包括潔凈存儲系統(Stocker)、 潔凈軌道系統、空中無人搬運車(OHT)等，公示可以為半導體工廠提供整套自動物料搬運系統；而新松承接的廣州超視堺Mask搬送系統項目，其中也包含ACS系統(類似MCS的系統，規模要比MCS系統規模小)的子訂單，具有先天優勢。
 

　　上述三個項目建成后，年預計可實現年均營業收入約10.05億元、11.90億元、1.8億元，合計達到23.75億元。而去年公司全年營收27.45億元，此次擴產項目若達成目標將增加營收85%。
 

　　機器人將半導體裝備業務確定為三大業務板塊之一，2018年5月，公司集中整合資源成立半導體裝備事業部，完善在集成電路設備自動化與自動物料搬運系統(AMHS)產業的布局，潔凈真空機器人、潔凈自動化裝備、自動物料搬運系統(AMHS)是公司自主研發的面向集成電路行業的成套裝備，半導體物料管理控制系統(MCS)產業化是公司拓展的新業務。
 

　　應用半導體，新松已走在前列
 

　　目前新松研發的真空機械手已批量應用于北方華創、中科院微電子研究所等企業。集束型設備行業應用涵蓋半導體 CMP 清洗設備、半導體刻蝕設備、半導體涂膠設備等，且實現小批量示范應用；半導體自動搬運系統(AMHS)已經實現在上海集成電路研發中心生產線上的應用，并成功應用于Sandisk、賽意法等半導體芯片加工廠，面向面板制造廠開發的掩模版自動物料搬運系統，已經在華星光電T1、T7工廠及夏普廣州廠實現成熟應用。
 

　　2012年以來，國內半導體設備需求迅猛增長，中國是第二大半導體設備市場，2018年達到131.10億美元，但國產設備自給率很低，僅為13%左右。未來即便核心半導體設備依然依靠進口，半導體設備國產化空間仍然巨大。并且半導體工廠自動化對工廠的稼動率非常重要，該市場的年采購額在20億美金左右，由于國外對中國半導體產業的*，國內半導體產業對于自動物料搬運系統(AMHS)需求迫切。
 

　　而新松是國內一家真空機械手的供應商，而新松自主研發的面向半導體行業的裝備自動物料搬運系統(AMHS)已經形成了獨立產品線，可以逐步實現國產化替代。
 

　　潔凈(真空)機器人及半導體裝備作為新松公司的核心業務之一，現已形成大氣機械手、真空機械手、EFEM、真空平臺、STOCKER和AMHS系統多個產品線。潔凈產品客戶現已遍及大陸以及中國臺灣地區。
 

　　目前，新松潔凈機器人已徹底打破國外同類企業在半導體領域的壟斷局面，擁有國內市場50%以上份額。
 

　　新松復合機器人基于移動機器人和工業機器人系統的創新融合，綜合視覺補償、力覺控制、碰撞保護和主動導航等技術，可快速布局自動化工廠，適應高柔性化生產模式，主要應用于半導體封裝測試環節，可滿足FOUP，CST，MGZ在各機臺間的自動運輸，終端定位精度可達±0.05mm，CLASS 100潔凈度，能為半導體生產應用提供系統解決方案。
 

　　原標題：募資18億！國產機器人加碼半導體領域自動化