【儀表網(wǎng) 工程快訊】原子力顯微鏡(atomic force microscope，簡稱AFM)利用微懸臂感受和放大懸臂上尖細(xì)探針與受測樣品原子之間的作用力，從而達(dá)到檢測的目的，具有原子級的分辨率。由于原子力顯微鏡既可以觀察導(dǎo)體，也可以觀察非導(dǎo)體，從而彌補(bǔ)了掃描隧道顯微鏡的不足。
近日，松山湖材料實(shí)驗(yàn)室就原子力顯微鏡進(jìn)行采購，用于4寸或6寸晶圓的表面缺陷形貌的自動(dòng)化分析檢測，大樣品臺晶圓級原子力顯微鏡是目前半導(dǎo)體芯片領(lǐng)域檢測和研究的工具，它能夠快速獲得原子級高分辨的三維立體形貌信息，并且對局部微納米區(qū)域進(jìn)行計(jì)量級別的尺度分析。具體信息如下：
項(xiàng)目編號：OITC-G210DY0046
項(xiàng)目名稱：松山湖材料實(shí)驗(yàn)室原子力顯微鏡采購項(xiàng)目
采購方式：公開招標(biāo)
預(yù)算金額：2,000,000.00元
采購需求：合同包1(原子力顯微鏡)
| 包號 | 采購內(nèi)容 | 數(shù)量 | 是否允許采購進(jìn)口產(chǎn)品 | 預(yù)算金額 （萬元） | 最高限價(jià)（萬元） |
| 1 | 原子力顯微鏡 | 1套 | 是 | 200 | 155 |
獲取招標(biāo)文件時(shí)間：2021年04月12日至2021年04月19日，每天上午09:00:00至12:00:00，下午14:00:00至17:00:00(北京時(shí)間，法定節(jié)假日除外)方式：在線獲取
提交投標(biāo)文件截止時(shí)間、開標(biāo)時(shí)間和地點(diǎn)：2021年05月08日 14時(shí)30分00秒(北京時(shí)間)；地點(diǎn)：廣東省東莞市莞城街道旗峰路莞城段200號1單元中天大廈602開標(biāo)室
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