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六氟化硫氣體作為一種絕緣氣體，具有無毒、不可燃，以及良好的絕緣特性，其絕緣強度大大高于傳統的絕緣氣體，并具有良好的滅弧性，因此廣泛應用于六氟化硫回收裝置。由于SF6氣體價格昂貴，且在電弧、電火花和電暈放電的作用下，會分解產生有毒成份。因此SF6氣體回收裝置應用時需要將SF6氣體回收。本裝置就是為了制造和維修SF6回收裝置時，回收和充加六氟化硫氣體的一種專用設備。
　　六氟化硫氣體回收裝置的工作流程：
　　1、當六氟化硫從一個氣室抽出時，氣體流經凈化過濾器，通過SF6壓縮機壓縮冷卻提純，在一定高壓下以液態形式儲入SF6貯罐。
　　2、使用真空泵把電器開關中的氣體抽除，真空泵的出口通向大氣。
　　3、經凈化和干燥的六氟化硫氣體從貯罐充回到已抽成真空的氣室中，通過減壓閥的控制，直到氣室內壓力達到設定的工作壓力。