壓力傳感器的標定是一個確保其輸出與實際壓力值一致的關鍵過程。以下是詳細的標定步驟及注意事項：

標定步驟

1. 準備工作

• 設備準備：標準壓力源（如壓力泵）、高精度標準壓力表（或傳感器）、數據采集系統（萬用表、DAQ）、穩壓電源、連接線纜及夾具。

• 環境控制：確保標定環境溫度穩定（通常20-25℃），濕度、振動等干擾因素最小化。

• 傳感器安裝：將傳感器牢固安裝在測試臺，避免機械應力影響，確保壓力介質（氣體/液體）與傳感器兼容。

2. 預熱與預壓

• 通電預熱：傳感器通電10-30分鐘，消除熱漂移影響。

• 預壓處理：對傳感器進行2-3次滿量程加壓和卸壓，消除機械遲滯。

3. 零點標定

• 在無壓力狀態下記錄傳感器輸出（電壓/電流），若存在零點偏移，通過硬件調零或軟件記錄偏移值。

4. 多點壓力加載

• 壓力點選擇：通常選取量程的0%、25%、50%、75%、100%、75%、50%、25%、0%，覆蓋上升和下降曲線，檢查遲滯。

• 加壓方式：逐級加載并穩定后記錄數據，每點停留1-2分鐘確保穩定，避免過沖。

5. 數據記錄

• 同步記錄標準壓力值（${?}_{\text{標準}}$）和傳感器輸出（${?}_{\text{輸出}}$），建議每個點采集3-5次取平均，減少隨機誤差。

6. 數據分析與擬合

• 線性擬合：$?=??+?$（適用于線性良好的傳感器）。

• 多項式擬合：如二次方程$?=?{?}^2+??+?$（處理非線性誤差）。

• 繪制曲線：以${?}_{\text{標準}}$為橫軸，${?}_{\text{輸出}}$為縱軸，繪制散點圖。

• 模型選擇：

• 誤差計算：計算擬合曲線的最大偏差、遲滯誤差、重復性誤差，確認是否滿足精度要求（如±0.5%FS）。

7. 溫度補償（可選）

• 若傳感器用于寬溫環境，需在不同溫度點（如-10℃、25℃、60℃）重復標定，建立溫度-輸出補償模型。

8. 驗證與調整

• 使用未參與擬合的壓力點驗證標定結果，若誤差超標，檢查標定流程或傳感器狀態，必要時更換傳感器。

9. 生成標定報告

• 包含傳感器型號、序列號、標定日期、環境條件、標定數據、擬合方程、誤差分析、操作人員等信息，附標準器校準證書編號。

注意事項

• 標準器精度：標準壓力表的精度應至少為傳感器精度的3-10倍（如傳感器精度1%，標準表需0.1%-0.3%）。

• 壓力介質匹配：氣體標定的傳感器不適用于液體測量，避免介質差異引入誤差。

• 動態特性標定：如需高頻響應，需進行階躍壓力測試，分析響應時間、過沖等參數。

• 定期復檢：根據使用頻率和環境，每6-12個月復檢，長期穩定性差的傳感器需縮短周期。

常見問題處理

• 非線性異常：檢查傳感器是否過載、介質是否堵塞、電路是否接觸不良。

• 遲滯過大：可能傳感器彈性體疲勞，需更換。

• 零點漂移：清潔傳感器膜片，檢查溫度補償是否失效。

通過系統化標定，可確保壓力傳感器在應用中提供精確可靠的測量數據，滿足工業、科研等領域的高精度需求。