SF6氣體抽真空充氣裝置在充放時，首先利用本裝置的真空泵對SF6電器設備（或鋼瓶）和連接管路進行抽真空，然后直接利用壓差或利用壓縮機的抽吸性并造成一定的壓差將裝置貯存容器內的SF6充入SF6電器設備，直至達到所需的工作壓力。在需灌瓶時則同時利用如前所述的R22制冷劑的特性，將液化的SF6直接灌入鋼瓶。
SF6氣體抽真空充氣裝置凈化功能是在完成上述回收、充放功能時同步完成的。
主要功能：
（1）對裝置本體以及電器設備，儲罐等進行抽真空和真空度測量。
（2）回收電器設備中的SF6氣體。
（3）對回收和回充的SF6氣體進行干燥凈化處理。
（4）給電器開關回充SF6氣體。
（5）對SF6氣體進行壓縮液態存儲。
性能指標
（1）抽真空速率
從0.1Mpa-1 m3電器抽真空到133Pa以下，所需時間小于0.2小時。
（2）充氣速率
向真空度為133Pa以下1 m3SF6氣體抽真空充氣裝置各地資質均可辦理容器SF6氣體 壓力達0.6Mpa，所需時間小于0.2小時。
技術參數
1、裝置度限真空度10Pa
2、裝置年泄漏率小于1%
3、噪聲：小于75dB
4、充氣系統壓力小于1Mpa
5、環境溫度：-30℃±45℃
6、電源：交流三相50Hz 380伏±1C%，功率、3KW
7、外形尺寸：（長×寬×高）930×730×800、
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