由于流體的容積受溫度、壓力等參數的影響，用容積流量表示流量大小時需給出介質的參數。在介質參數不斷變化的情況下，往往難以達到這一要求，而造成儀表顯示值失真。因此，質量流量計就得到廣泛的應用和重視。目前常用的有量熱式、角動量式、振動陀螺式、馬格努斯效應式和科里奧利力式等質量流量計。
在現代工業生產中，流動工質的溫度、壓力等運行參數不斷提高，在高溫高壓的情況下，由于材質和結構等方面的原因，直接式質量流量計的應用遇到困難，而間接式質量流量計由于密度計受濕度和壓力適用范圍的限制，往往也不好實際應用。因此，在工業生產中廣泛采用的是溫度壓力補償式質量流量計。可把它看作一種間接式質量流量計，不是配用密度計，而是利用溫度、壓力與密度間的關系，用溫度、壓力信號經函數運算為密度信號，與容積流量相乘而得到質量流量。
氣體質量流量計一般指熱式氣體質量流量計。插入式氣體質量流量計一般采用恒溫差法對氣體質量流量進行準確測量。具有體積小、數字化程度高、安裝方便、測量準確等優點。
可廣泛應用于各種氣體的質量流量和標況流量測量，無需溫壓補償。產品測量方式采用恒功率設計具有測量下限極低，量程比寬，測量精度高，安裝簡便等特點。產品廣泛應用于壓縮空氣，瓦斯抽采，天然氣測量，曝氣測量，排放氣體監控，過程氣體控制等眾多領域。
傳感器部分由兩個基準級鉑電阻溫度傳感器組成，儀表工作時，一個傳感器不間斷地測量介質溫度T1;另一個傳感器自加熱到高于介質溫度T2，它用于感測流體流速，稱為速度傳感器。該溫度ΔT=T2-T1，T2>T1，當有流體流過時，由于氣體分子碰撞傳感器并將T2的熱量帶走，使T2的溫度下降，若要使ΔT保持不變，就要提高T2的供電電流，氣體流動速度熱快，帶走的熱量也就越多，氣體流速和增加的熱量存在固定的函數關系，這就是恒溫差原理。
（1）
其中
— 流體比重(和密度相關)
V — 流速
K — 平衡系數
Q — 加熱量(和比熱及結構相關)
ΔT — 溫度差
由于傳感器溫度比介質(環境)溫度總是自動恒定高出30℃左右，所以熱式氣體流量計從原理上不需要溫度補償。
熱式氣體質量流量計適用介質溫度中溫為-40-250℃。以下，中溫為-40-350℃。以下
(1) 式中流體比重和密度相關
（2）
其中 — 工況體積下的介質密度(kg/m3)
ρn — 標準條件下介質密度(101.325 Kpa、20℃) (kg/m3)
P — 工況壓力 (kPa)
T — 工況溫度(℃)
從(1)(2)式可以看出，流速和工況壓力，氣體密度，工況溫度函數關系已確定。
恒溫差熱式氣體質量流量計不但不受溫度影響，而且不受壓力的影響，熱式氣體質量流量計是真正的直接式質量流量計，用戶不必對壓力和溫度進行修正。
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