摘 要：半導(dǎo)體生產(chǎn)制造業(yè)在國(guó)民經(jīng)濟(jì)中起著舉足輕重的作用，相關(guān)企業(yè)的規(guī)模也越來(lái)越大。其供配電系統(tǒng)穩(wěn)定、可靠的運(yùn)維不僅是其安全生產(chǎn)的基本保證，還關(guān)系到產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)的順利進(jìn)行。而半導(dǎo)體行業(yè)中大部分工藝設(shè)備對(duì)電能質(zhì)量比較敏感，電壓暫降、諧波等電能質(zhì)量問(wèn)題會(huì)導(dǎo)致設(shè)備損壞、生產(chǎn)材料報(bào)廢等產(chǎn)生較大的經(jīng)濟(jì)損失。因此，需要對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)裝設(shè)電能質(zhì)量監(jiān)測(cè)裝置來(lái)監(jiān)測(cè)供電的電能質(zhì)量。

關(guān)鍵詞：半導(dǎo)體；電能質(zhì)量；電壓暫降；諧波

1 項(xiàng)目概況

在國(guó)家政策的引導(dǎo)下，電子行業(yè)發(fā)展迅速，同時(shí)新建了大量電子行業(yè)工廠(chǎng)。工廠(chǎng)用電量大且大部分工藝需要不間斷運(yùn)行，配電系統(tǒng)結(jié)構(gòu)復(fù)雜，設(shè)備一旦意外斷電會(huì)導(dǎo)致重大損失，這就需要對(duì)供電可靠性要求非常高，對(duì)故障比較敏感；大部分工藝設(shè)備對(duì)電壓、電流比較敏感，電壓電流的變化會(huì)導(dǎo)致設(shè)備損壞、生產(chǎn)材料報(bào)廢等問(wèn)題；并且工廠(chǎng)電壓等級(jí)比較多，出于供電可靠性要求和工藝設(shè)備需要電壓等級(jí)不同，工廠(chǎng)配電電壓從110kV到66kV、35kV、10kV、0.48kV、0.4kV不等，涉及的各電壓等級(jí)變壓器數(shù)量非常多。針對(duì)以上情況，需要配置電能質(zhì)量監(jiān)測(cè)裝置來(lái)監(jiān)測(cè)用電電能質(zhì)量情況，為后續(xù)改善電能質(zhì)量提供依據(jù)。

某半導(dǎo)體有限公司成立于2018年05月29日，注冊(cè)地位于四川省成都高新區(qū)。經(jīng)營(yíng)范圍包括OLED等平板顯示屏材料、電子材料及其相關(guān)產(chǎn)品的研發(fā)、測(cè)試、生產(chǎn)、銷(xiāo)售、技術(shù)服務(wù)、技術(shù)咨詢(xún)及其售后服務(wù)；提供分撥、保稅倉(cāng)儲(chǔ)（不含危險(xiǎn)化學(xué)品）、保稅加工服務(wù)；國(guó)際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易、保稅區(qū)企業(yè)間貿(mào)易以及區(qū)內(nèi)貿(mào)易代理；電子產(chǎn)品及其零部件、相關(guān)化工原料（不含危險(xiǎn)化學(xué)品）的進(jìn)出口、批發(fā)、傭金代理及相關(guān)配套業(yè)務(wù)（國(guó)家禁止或涉及行政審批的貨物和技術(shù)進(jìn)出口除外）。

2 項(xiàng)目需求

本次項(xiàng)目為某半導(dǎo)體有限公司10/0.4KV用戶(hù)變電站項(xiàng)目，該變電站供電系統(tǒng)為單母線(xiàn)供電系統(tǒng)，共設(shè)一面高壓進(jìn)線(xiàn)柜、一面計(jì)量柜、一面母線(xiàn)PT柜和四面專(zhuān)變出線(xiàn)柜。由于該公司主要生產(chǎn)電子材料、芯片等半導(dǎo)體設(shè)備，而半導(dǎo)體芯片制造生產(chǎn)中主要存在以下電能質(zhì)量問(wèn)題：

1、諧波問(wèn)題

IC測(cè)試臺(tái)、PLC控制的機(jī)械手、芯片制造用的晶圓機(jī)或變頻控制的半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)都會(huì)產(chǎn)生大量的諧波，它們不但會(huì)造成機(jī)臺(tái)設(shè)備自身的壞機(jī)現(xiàn)象，回流進(jìn)電網(wǎng)的諧波電流還會(huì)引起其他回路的發(fā)熱、電子開(kāi)關(guān)誤動(dòng)作、供電電壓不穩(wěn)，甚至引起生產(chǎn)線(xiàn)停線(xiàn)、半成品的報(bào)廢。而且高能設(shè)備如：外延設(shè)備、擴(kuò)散設(shè)備、離子注入設(shè)備的頻繁加卸載，更加重了用電環(huán)境的惡化。

2、電壓暫降及中斷

現(xiàn)代化的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備對(duì)電力品質(zhì)問(wèn)題非常敏感，相對(duì)于傳統(tǒng)工業(yè)來(lái)說(shuō)，半導(dǎo)體、LCD制造對(duì)電壓暫降非常敏感，持續(xù)16ms的幅值為額定值85%-90%電壓暫降即可能導(dǎo)致設(shè)備停機(jī)。電壓暫降與短時(shí)中斷的差別在于短時(shí)中斷時(shí)負(fù)載一般與供電系統(tǒng)基本斷開(kāi)（幅值低于額定值的10%），而電壓暫降發(fā)生時(shí)負(fù)載仍與電源連接。對(duì)于半導(dǎo)體行業(yè)而言，兩者均會(huì)造成設(shè)備停機(jī)，產(chǎn)生的結(jié)果是相同的，但是電壓暫降發(fā)生的幾率遠(yuǎn)高于短時(shí)中斷會(huì)發(fā)生的幾率。調(diào)查顯示：在所有配電系統(tǒng)事故中，電壓暫降引起的事故占了70%-80%；而在輸電系統(tǒng)事故中，電壓暫降引起的事故所占的比例超過(guò)了90%。

停機(jī)的概念在傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)中只是生產(chǎn)暫時(shí)的中斷，而對(duì)半導(dǎo)體、LCD生產(chǎn)來(lái)說(shuō)就是一次災(zāi)難。因?yàn)榘雽?dǎo)體、LCD生產(chǎn)設(shè)備的停機(jī)會(huì)造成大量直接損失和間接損失。這些損失包括：

1）直接損失：半導(dǎo)體產(chǎn)品硅片損壞和浪費(fèi)、設(shè)備壽命縮短甚至損壞、清理產(chǎn)線(xiàn)的人工成本等。

2）間接損失：重新啟動(dòng)生產(chǎn)線(xiàn)需要的時(shí)間、降低產(chǎn)品品質(zhì)、延誤交貨時(shí)間等。

國(guó)家發(fā)改委經(jīng)濟(jì)調(diào)節(jié)運(yùn)行局曾開(kāi)展了電能質(zhì)量經(jīng)濟(jì)性影響調(diào)查，經(jīng)過(guò)大量的調(diào)研與分析，都表明電壓暫降與短時(shí)中斷都是顯著的電能質(zhì)量問(wèn)題，成為供用電雙方共同面臨的挑戰(zhàn)。其中半導(dǎo)體行業(yè)因電能質(zhì)量擾動(dòng)帶來(lái)的生產(chǎn)損失占據(jù)高位。

因此，為了實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)供電的電能質(zhì)量，在本項(xiàng)目的高壓配電進(jìn)線(xiàn)柜處裝設(shè)一臺(tái)電能質(zhì)量監(jiān)測(cè)裝置APView500，同時(shí)為了保證整個(gè)配電系統(tǒng)日常安全穩(wěn)定運(yùn)行，在每面高壓開(kāi)關(guān)柜裝設(shè)一臺(tái)AM5系列微機(jī)保護(hù)裝置和一臺(tái)ASD200智能操控裝置；為了監(jiān)測(cè)各回路的電能，在每面高壓開(kāi)關(guān)柜和低壓柜均配置我司的多功能儀表。各類(lèi)設(shè)備主要實(shí)現(xiàn)的功能如下：

3 系統(tǒng)需求

為實(shí)時(shí)監(jiān)視整個(gè)配電室的運(yùn)行以及數(shù)據(jù)采集，該項(xiàng)目配置一套Acrel-2000Z電力監(jiān)控系統(tǒng)，其可實(shí)現(xiàn)的功能如下：

1）實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)：以配電一次圖的形式直觀(guān)顯示配電線(xiàn)路的運(yùn)行狀態(tài)，可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)各回路電壓、電流、功率、功率因數(shù)等電參數(shù)信息，動(dòng)態(tài)監(jiān)視各配電回路斷路器、隔離開(kāi)關(guān)、地刀等合、分閘狀態(tài)。