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壓電納米定位臺(tái)與光纖3D檢測(cè)技術(shù)的聯(lián)用
壓電納米定位臺(tái)具有移動(dòng)面，是通過(guò)帶有柔性鉸鏈的機(jī)械結(jié)構(gòu)將壓電陶瓷產(chǎn)生的位移及出力等進(jìn)行輸出，分直驅(qū)與放大兩種結(jié)構(gòu)。以壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)源，結(jié)合柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸精密運(yùn)動(dòng)的壓電平臺(tái)，驅(qū)動(dòng)形式包含壓電陶瓷直驅(qū)機(jī)構(gòu)式、放大機(jī)構(gòu)式。運(yùn)動(dòng)范圍可達(dá)500μm，具有體積小、無(wú)摩擦、響應(yīng)速度快等特點(diǎn)，配置高精度傳感器，可實(shí)現(xiàn)納米級(jí)分辨率及定位精度且具有較高的可靠性，在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著主要作用。
近年來(lái)，由于光通信技術(shù)飛速發(fā)展，光纖連接器作為光通信基本的光源器件，所以對(duì)其質(zhì)量及可靠性有了更嚴(yán)格的要求。為了提高光纖連接及光信號(hào)傳輸?shù)男剩虼斯饫w端面的檢測(cè)至關(guān)重要。
為得到光纖端面的三維參數(shù)，通常根據(jù)光學(xué)干涉來(lái)進(jìn)行測(cè)量。其中由壓電陶瓷控制器控制的壓電納米定位臺(tái)用于移動(dòng)3D干涉儀系統(tǒng)中米羅的干涉物鏡或光纖連接器以產(chǎn)生位相移動(dòng)，分5步位相移動(dòng)，每移動(dòng)一步后由CCD攝像頭讀取干涉條紋。
壓電納米定位臺(tái)內(nèi)部采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，一體化的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。機(jī)構(gòu)放大式驅(qū)動(dòng)原理，內(nèi)置高性能壓電陶瓷，可實(shí)現(xiàn)100μm位移。閉環(huán)版本定位精度可達(dá)納米級(jí)。采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度，具有高剛性、高負(fù)載、無(wú)摩擦等特點(diǎn)。
此外，壓電納米定位臺(tái)還可用于：
•光路調(diào)整；
•納米操控技術(shù)；
•納米光刻，生物科技；
•激光干涉；
•CCD圖像處理；
•納米測(cè)量、顯微操作；
•納米壓印、納米定位；
•顯微成像，共焦顯微。
