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壓電陶瓷驅動器的制造工藝

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  壓電陶瓷驅動器制造工藝
  一、配料:進行料前處理,除雜去潮,然后按配方比例稱量各種原材料,注意少量的添加劑要放在大料的中間。
  二、混合磨細:目的是將各種原料混勻磨細,為預燒進行*的固相反應準備條件.一般采取干磨或濕磨的方法。小批量可采取干磨,大批量可采取攪拌球磨或氣流粉碎的方法,效率較高。
  三、預 燒:目的是在高溫下,各原料進行固相反應,合成壓電陶瓷.此道工序很重要。會直接影響燒結條件及終產(chǎn)品的性能。
  四、二次細磨:目的是將預燒過的壓電陶瓷粉末再細振混勻磨細,為成瓷均勻性能一致打好基礎。
  五、造粒:目的是使粉料形成高密度的流動性好的顆粒。方法可以手工進行但效率較低,的方法是采用噴霧造粒。此過程要加入粘合劑。
  六、成型:目的是將制好粒的料壓結成所要求的預制尺寸的毛坯。
  七、排塑:目的是將制粒時加入的粘合劑從毛坯中除掉。
  八、燒結成瓷:將毛坯在高溫下密封燒結成瓷。此環(huán)節(jié)相當重要。
  九、外形加工:將燒好的制品磨加工到所需要的成品尺寸。
  十、被電極:在要求的陶瓷表面設置上導電電極。一般方法有銀層燒滲、化學沉積和真空鍍膜。
  十一、高壓極化:使陶瓷內(nèi)部電疇定向排列,從而使陶瓷具有壓電性能。
  十二、老化測試:陶瓷性能穩(wěn)定后檢測各項指標,看是否達到了預期的性能要求。

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