<ul id="ywygc"></ul>

新品推薦！芯明天閉環三維壓電螺釘運動平臺

時間：2023-2-9 閱讀：971

此次為大家帶來一款閉環式、三維運動、壓電螺釘驅動的壓電運動平臺。使用過壓電螺釘運動平臺的用戶都會了解，一般情況下，這種運動平臺都是開環的，沒有閉環伺服控制傳感器。但考慮到用戶在大行程運動控制下對高精度的要求，芯明天專門設計、研發了XYZ65N81E26壓電螺釘運動平臺，該平臺配備了增量式編碼器，對運動行程、精度等可進行精確控制，且精度可達1.5μm。

芯明天XYZ65N81E26壓電螺釘運動平臺

特點

XYZ三維運動

配有閉環增量式編碼器

行程±12.5mm/軸

納米級分辨率

精度達1.5μm

運動原理

XYZ65N81E26壓電螺釘運動平臺是采用壓電螺釘驅動，壓電螺釘的運動是通過內部壓電陶瓷的微運動，驅動螺紋桿旋轉，從而沿著螺紋向前運動。螺紋桿的推動，使得載物移動平臺臺面的直線運動。

技術參數

產品設計的參數如下表所示。

型號	XYZ65N81E26
運動自由度	X
集成傳感器類型	增量式編碼器
標稱行程范圍	±12.5mm
速度	50μm/s
閉/開環分辨率	80nm
線性度	1.5μm
重復度	1.5μm
承載能力	1.5kg
工作溫度	0~50℃
質量（包含電纜）	2.61kg
材質	鋁、鋼
電纜長度	1.5m
推薦控制器	E53.D1E

產品實測數據

下方測試結果是在1.5kg負載、28.8℃溫度、31%濕度下測得。

運動軸	X	Y	Z
線性度	1.253μm	1.327μm	1.157μm
重復度	1.439μm	0.275μm	1.134μm
分辨率	80nm	80nm	80nm
運行速度	55.30μm/s	64.62μm/s	54.50μm/s

從測試結果中可看出，X、Y、Z三個方向的定位精度均可達到1.5μm以內。運動效果如下視頻所示。

注：視頻60倍率播放。

可定制參數、可定制真空版本

芯明天可根據用戶的參數要求定制壓電螺釘運動平臺，自由選擇一至三維運動版本，自由選配增量式編碼器。此外，可定制真空兼容版本，真空度可達10^-6mbar以上。

應用

XYZ65N81E26壓電螺釘運動平臺是三維直線運動版本，因其大行程及高精度的特點，非常適用于半導體測試、晶圓檢測、納米壓印、納米計量、工業精密定位等領域。

配套控制器

XYZ65N81E26壓電螺釘運動平臺采用芯明天自研生產的E53.D1E壓電伺服控制器，可通過串口與上位機進行連接通信，通過上位機軟件，對壓電螺釘運動平臺進行運動的控制，可設置運動速度等參數。

其他壓電螺釘運動平臺

更多關于壓電螺釘運動平臺的信息，歡迎致電我們！



立即詢價 您留言后，廠商將第一時間為您服務！

*留言

標題：: 請輸入你感興趣的產品

需求：: 請簡單描述您的需求

請簡單描述您的需求

限200字

上傳附件

*聯系人

*電話

單位

微信

同手機號

郵箱

省份

請選擇省份

請選擇省份
安徽
北京
福建
甘肅
廣東
廣西
貴州
海南
河北
河南
黑龍江
湖北
湖南
吉林
江蘇
江西
遼寧
內蒙古
寧夏
青海
山東
山西
陜西
上海
四川
天津
新疆
西藏
云南
浙江
重慶
香港
澳門
臺灣
國外

*驗證碼

請輸入計算結果（填寫阿拉伯數字），如：三加四=7

提交后，默認您同意《服務條款》和《隱私協議》

<fieldset id="qqwee"></fieldset>

<del id="qqwee"></del>

少妇无码精品12P_99久久精品国产免费看_色.www_国产黄a三级三级三级看三级黑人_亚洲AⅤ无码一区二区波多野_久久123

哈爾濱芯明天科技有限公司

哈爾濱芯明天科技有限公司

新品推薦！芯明天閉環三維壓電螺釘運動平臺

會員登錄

收藏該商鋪

提示