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瑞士inficon電容式膜片真空計的優(yōu)點與應用

時間:2016-3-11閱讀:1685
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 瑞士inficon電容式膜片真空計的優(yōu)點與應用
 
擁有成本更低,預熱速度快 50%,節(jié)能,低功耗
易于集成,各種滿刻度、法蘭和接口,標配兩個設定點
輕松一鍵調(diào)零或遠程信號調(diào)零指令,可調(diào)零點偏移
診斷端口用于快速維修和維護
兩年保修服務,加熱概念和真空計保護延長了使用壽命
的信號穩(wěn)定性和可重復性,即使是zui苛刻的等離子應用,都無需長期執(zhí)行重新校準
合規(guī)性與標準: CE、EN、UL、SEMI、RoHS
 
典型應用
用于刻蝕、CVD、PVD 和其他半導體制造過程
化學和腐蝕性高溫過程
需要真空計保護的一般薄膜和真空過程

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