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南京萊步科技實(shí)業(yè)有限公司


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RTF-PECVD-1200轉(zhuǎn)動(dòng)式PECVD系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號(hào)RTF-PECVD-1200

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地南京市

聯(lián)系方式：張?jiān)俜?/b>查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2022-08-11 10:26:17瀏覽次數(shù)：249次

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經(jīng)營(yíng)模式：其他

商鋪產(chǎn)品：149條

所在地區(qū)：江蘇南京市

聯(lián)系人：張?jiān)俜?（銷售經(jīng)理）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品摘要: RTF-PECVD-1200轉(zhuǎn)動(dòng)式PECVD系統(tǒng)具有斷電保護(hù)功能，且配有通訊接口和軟件，轉(zhuǎn)動(dòng)式PECVD系統(tǒng)的爐膛采用*成型，四周加熱，溫場(chǎng)更加均衡。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品描述

RTF-PECVD-1200轉(zhuǎn)動(dòng)式PECVD系統(tǒng)詳細(xì)介紹：

　

 

 

 
 
(1)、表面溫度高可達(dá)1420℃
 
(2)、表面為不銹鋼色（非常亮、客戶識(shí)別時(shí)要注意）、不會(huì)生銹，使用時(shí)間再長(zhǎng)都不會(huì)掉渣。
 
(3)、電阻均衡、溫場(chǎng)均衡性好
 
 
 
 
 
 
當(dāng)電路過流或漏電時(shí)，空開會(huì)自動(dòng)斷開。
 
 

 
     
OTL1200單溫區(qū)轉(zhuǎn)動(dòng)管式爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個(gè)參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況，爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會(huì)實(shí)時(shí)繪出，并能把每個(gè)時(shí)刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來，隨時(shí)可以調(diào)出
 
 
 
 
 
 
 
 
1、真空吸濾成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。
 
2、采用*成型。
 
3、爐膛里電阻絲的間距和節(jié)距全部按日本的熱工技術(shù)布置、經(jīng)過熱工軟件模擬溫場(chǎng)
 
4、采用4周加熱，溫場(chǎng)更加均衡
 
 
 
（全部通過UL認(rèn)證的進(jìn)口電器）
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
RTF-PECVD-1200轉(zhuǎn)動(dòng)式PECVD系統(tǒng)產(chǎn)品型號(hào)規(guī)格：
 
 
 
型號(hào)功率爐管尺寸(mm)外形尺寸電源電壓相數(shù)
RTF-PECVD-1200-603.5KWDia60(OD)X1400mm1300X420X1200220V單相
 
 
加熱元件：瑞典Kanthal  A1 進(jìn)口電阻絲 （電阻絲可承諾保修2年）
 
控制方式：
 
采用宇電程序控溫儀表（標(biāo)配）
 
可選配日本導(dǎo)電程序控溫儀表
 
1、30段程序控溫智能PID調(diào)節(jié)。
 
2、具有過溫保護(hù) 斷偶保護(hù)過溫或斷偶時(shí)電爐加熱電路自動(dòng)切斷,，（當(dāng)電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時(shí)，主電路上的交流繼電器會(huì)自動(dòng)斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護(hù)電爐）。
 
3、帶有485 通訊接口（選購(gòu)軟件時(shí)標(biāo)配）
 
4、具有斷電保護(hù)功能，即斷電后再給電啟動(dòng)爐子時(shí)、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時(shí)爐溫開始升。
 
5、儀表具有溫度自整定的功能
 
 
控溫模式：智能PID     斷偶保護(hù)和顯示:有       過溫保護(hù):有           過流保護(hù):有
 
 
爐膛材料：1、真空吸濾成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。
 
                   2、采用*成型。
 
                  3、爐膛里電阻絲的間距和節(jié)距全部按日本的熱工技術(shù)布置、經(jīng)過熱工軟件模擬溫場(chǎng)
 
 
控制精度：+/- 1 ℃
 
觸發(fā)器：移相觸發(fā)
 
電器：浙江正泰
 
可控硅：106/16E 德國(guó)西門康
 
溫度:1200 ℃                    
 
額定溫度:1100 ℃
                                       
升溫速率:≤20 ℃/ Min （可根據(jù)要求修改）
 
推薦升溫速率:≤10℃/ Min
 
熱電偶型號(hào):K  型
                                                   
加熱段長(zhǎng)度:400mm                                               
 
真空法蘭
 
1、為了增加抽氣速率，達(dá)到更高真空的要求。可將原有軟管接頭更換成KF-25接口（VS-0.1和VS高真空系統(tǒng)接口皆為KF25）
 
2、如用于供氣系統(tǒng)，可將原有軟管接頭更換成Φ6.35mm雙卡套接頭. 
 
 轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)功率: 40W
 
電動(dòng)推桿功率:40W
 
 爐子傾斜角度: -10~30度
 
 爐管轉(zhuǎn)動(dòng)速率 :采用無級(jí)變速電機(jī)  轉(zhuǎn)速可在1-25轉(zhuǎn)/min 之間可調(diào)
 
 轉(zhuǎn)動(dòng)密封方式 : 采用轉(zhuǎn)動(dòng)磁流體密封
 
四周表面溫度:≤45℃
 
射頻電源（等離子體發(fā)生器）
 
 
功率輸出范圍: 0-500W
 
反射功率:10W
 
信號(hào)頻率:13.56MHZ±0.005%
 
噪聲:<30 dB.
 
冷卻方式:空氣冷卻
 
輸入電源:208-240V  50/60HZ
 
 
GX供氣系統(tǒng)主要參數(shù)
 
 
 
流量控制和檢測(cè)采用
 
 
D07-7C質(zhì)量流量計(jì)
 
 
標(biāo)準(zhǔn)量程：采用質(zhì)子流量控制器       5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM  （你可以任意選擇量程和所通氣體的類型）
 
工作壓力：3MP
 
準(zhǔn)確度：±1.5%
 
氣壓降：<0.01MPa
 
重復(fù)精度：±0.2% F.S
 
 路數(shù)：1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意選擇幾路）
 
接頭類型：雙卡套不銹鋼接頭
 
系統(tǒng)工作壓力范圍：0.1~0.5 MPa
 
工作溫度：5-45℃
 
壓力真空表表：-0.1~0.15MPa    0.01MPa/格
 
靜態(tài)混氣室： Dia50 X 400MM
 
接口： Dia6   1/4”
 
VS-0.1抽氣系統(tǒng)
 
 
電源：220V
 
尺寸：600X600X600
 
波紋管：KF25X1000mm
 
用該系統(tǒng)抽爐管真空度可達(dá)：10 -1Pa
 
真空擋板閥：KF25
 

VRD-8真空泵(方案一)

型號(hào)：VRD-8
 
極限分壓強(qiáng)：5X10-2 Pa
 
進(jìn)排氣接口：KF25
 
電機(jī)轉(zhuǎn)速:1440RPM
 
抽氣速率:2.2L/S
 
電機(jī)功率:0.4KW
 
無油干泵Perfeer ACP15（方案 二）
 
 
型號(hào) ACP15
 
電源 100-240V     50/60HZ
 
極限分壓強(qiáng) 0.02 Torr
 
進(jìn)、排氣接口 KF25
 
重量 25KG
 
氦氣漏率 5 · 10-8 Pa m3/s 
 
抽氣速率 14  m3/h
 
功率 450W  
 
電阻真空計(jì)
 
 
型號(hào):ZDR-1
 
功率:25W
 
真空度測(cè)量范圍:0.1-10 5 Pa
 
電阻硅:ZJ-52T
 
瑞典（INFICON）皮拉尼陶瓷電容真空計(jì)（選購(gòu)）
 
 
型號(hào):PCG554
 
輸入電壓:24V  1A DC（配有220V變壓器）
 
真空計(jì)接口:KF16
 
數(shù)字顯示:數(shù)字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數(shù)據(jù)顯示單位為torr
 
產(chǎn)品尺寸:46mm×28mm×126mm ( L x W x H)
 
重量:5 lbs
 
檢測(cè)氣體:可檢測(cè)各種氣體，包括混合氣體，測(cè)量精確、重復(fù)性好。
 
是否防腐:防腐
 
響應(yīng)時(shí)間:≤30ms
 
測(cè)量范圍:3.8x10-5 -1125 Torr.
 
 
 
GX供氣系統(tǒng)主要參數(shù)
 


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