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熱式氣體質量流量計是以熱擴散技能為基礎的氣體質量流量計。傳感元件包含兩個帶熱套管維護的電阻式溫度探測器(鉑RTD)，這兩個RTD被置于流體中，其間一個RTD被加熱，另一個則用于感應進程溫度。氣體的活動將被加熱的RTD上的熱量帶走，造成兩個RTD之間的溫差與氣體流速成份額變化。

差信號變換成電壓或電流信號輸出。擴散式熱式氣體質量流量計選用了帶內置渦流調節器的軸向式傳感頭。它在不抱負的裝置環境中能夠供給zui高丈量精度，對定位沒有特別高的請求。因此能夠供給超卓的精度、重復性和反應時間。它的傳感元件上觸摸介質外表選用全金屬構造并選用了抗腐蝕的全焊接構造，裝置運用簡潔，修理、維護耗費低。

熱式氣體質量流量計內部的電路板主要包含傳感器電路板和數據處理電路板。線路板之間經過內部電路母線IB-BUS聯絡。傳感器電路板直接與傳感器聯接，它為傳感器供給作業電流，一起將傳感器回來的V/I信號經過A/D變換變為數字信號，經過數據處理后經內部母線IB送入處理器電路板。

熱式氣體質量流量計處理器電路板擔任接納由傳感器電路板傳來的數字信號，經處理后轉變為規范V/I輸出，一起經過顯現單元完結各種參數的顯現以及設定。處理器自身選用EEPROM方法，PAL與模擬量輸出、通訊端口間選用光電耦合阻隔，以進步抗干擾才能。通訊規范為RS232/RS485，一起供給Hart/Profibus等現場通訊協議。