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以硅片為基礎，采用微機械加工技術與薄膜技術制成的熱式氣體質量流量計傳感器的結構、工作原理及其主要技術特點，以該傳感器為核心部件組成的質量流量計與控制器的特點與應用示例。

通常流量測量有體積與質量計量兩種方式。體積流量計量往往受溫度、壓力等工況的變化而影響計量度。因此，要求計量的場合必須采用質量流量計量。質量流量計可分為推導式質量流量計與直接式質量流量計熱式氣體質量流量計兩種。前者是在體積計量的基礎上進行密度補償或者進行溫度、壓力補償，并通過運算推導出質量流量。

后者是基于傳感器測量原理消除溫度、壓力等的影響，從而直接獲得質量流量，如科里奧利(Coriolis)質量流量計、熱式質量流量計等。前者適用于多種液體的質量流量計量，后者則適用于各種氣體的微小流量的質量計量。

熱式質量流量計又稱量熱流量計。它是利用測量熱的傳遞、熱的轉移原理來求得質量流量的儀表。該類儀表的基本原理幾乎相同，但傳感器的結構與材料各有特色。本文將重點介紹株式會社山武的CMS與CMQ熱式氣體質量流量計與控制器。