熱式氣體質量流量計誕生在美國的西海岸，剛開始是兩個公司，后來分裂成三個獨立的公司。其中一個公司生產(chǎn)流體元件，通過石油補丁中發(fā)明熱式氣體流量開關交換機檢測油的油井管的運動，但直到1981年，他們實際上也沒有演變成實際的流量計。
1968年至20世紀70年代初，在奧林和庫爾茲做研究使用風速計時，他們更感興趣的是開發(fā)測量產(chǎn)品適用于工業(yè)環(huán)境。這將需要更堅固耐用的設備比一個風速計。在TSI，他們開發(fā)的研究應用在氣體動力學，湍流和空氣流動的和熱膜風速計。這些工具是基于熱擴散技術和傳感器組成的加熱鎢絲或鉑薄膜沉積在石英棒。這些傳感器的直徑小了流體力學研究需要的快速響應時間，但在一般工業(yè)應用，他們還是太脆弱。于是他們建議TSI開發(fā)工業(yè)產(chǎn)品，，但TSI是不感興趣。因此，奧林和庫爾茲決定開辦自己的公司，于1973年在明尼蘇達州納入Sierra公司。1975年，他們搬到加州的公司，包裝業(yè)務分為兩卡車，駕駛它橫跨大陸分水嶺在蒙特利設立店鋪。
1977年杰里·庫爾茲決定成為獨立的公司，并形成庫爾茲儀器。塞拉利昂保持空氣采樣產(chǎn)品，庫爾茲儀器保持熱流量計。然而，塞拉利昂流量計在1983年回歸市場。
在20世紀80年代初，塞拉利昂，庫爾茲和流體元件是制造熱式氣體質量流量計的公司。然而，隨著時間的推移，更多的熱式氣體質量流量計制造商開始誕生。這些包括的埃爾德里奇，福克斯熱儀器，賢者測光公司。這些公司主要是塞拉利昂和庫爾茲的分支。終，一些較大的流量計企業(yè)進入市場，其中包括恩德斯豪斯和ABB、液位和流量開關制造商Magnetrol公司，也進入了熱式氣體質量流量計市場。
在20世紀60年代，美國首先為宇航業(yè)所需質量控制開發(fā)出熱式氣體流量計的正式產(chǎn)品，氣候應用于半導體工業(yè)的設備制造上，得到了很大的發(fā)展，隨后又擴展到其他的工業(yè)領域，近年來熱式氣體質量流量計技術日趨成熟其應用面不斷擴展。世界工業(yè)比較發(fā)達的國家已有眾多制造企業(yè)所生產(chǎn)的產(chǎn)品投放市場，20世紀90年代初中期，世界范圍的熱式氣體質量流量計銷售額已占流量儀表行業(yè)的3%-7%，年銷售1.74-4.6萬臺。
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