在進行測量前，要先對三次元測量儀進行校對，方能使用。具體原因有以下：
1.如果以上三次元測量儀校正過程中影像儀數值相差比較大，應檢查三坐標測座、測頭、測針、標準球的安裝是否牢固和清潔。
測頭部分校正時要求剛性好，所以連接部分不能有任何松動，校正測頭時除測頭誤差外，主要誤差來自這里。
2.使軟件建立不同三次元測量儀測頭位置的關系矩陣，使我們調用不同三坐標測頭位置進行測點時，都通過矩陣轉換到同一個測頭下（1號測頭）。
所以校正測頭前，應進行以下檢查，確認三坐標測頭硬件部分可靠，避免返工。
1.確認測座安裝方向與三次元測量儀坐標軸方向一致，如果拆卸了測座，要進行找正（前面有找正方法）。
2.測座固定牢靠，測頭、測針的安裝牢靠（安裝應使用工具），寶石球清潔、無破損，加長桿安裝長度與測頭或吸盤的負載能力協調。
3.標準球與臺面(或支撐）固定牢固，各連接關節緊固。球體無損傷，表面清潔。
4.軟件中三坐標測座、測頭、加長桿、測針設置正確（測桿長度輸入正確），測頭使用位置定義正確（避免使用時發現缺項，寧多無少）。標準球直徑輸入正確（必須是校準證書或合格證中的真實值），測頭校正速度設置與測量時一致。
5.單個測頭位置校正，注意觀察三次元測量儀測針直徑和標準偏差，三坐標測針直徑應與平時校正相近且重復性好，標準偏差盡量小，（測頭前加長桿長時，直徑小，偏差大）。
6.多個三坐標測頭位置校正時，除要觀察以上結果外，還要用校正后的各個三坐標測頭位置測量標準球，觀察球心坐標值的變化，數值應與示值誤差或探測誤差相近。
7.使軟件得到三次元測量儀測針寶石球的“等效直徑"，自動進行“測頭半徑的補償"。