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從轉(zhuǎn)速用零功耗傳感器看磁敏傳感器的發(fā)展

時間:2015/8/27閱讀:396
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   磁敏式傳感器都是利用半導(dǎo)體材料中的自由電子或空穴隨磁場改變其運動方向這一特性而制成的。

  按其結(jié)構(gòu)可分為體型和結(jié)構(gòu)兩大類。體型的有霍爾傳感器,也叫零功耗磁敏傳感器,其主要材料InSb(銻化銦)、InAs(砷化銦)、Ge(鍺)、Si、GaAs等和磁敏電阻InSb、InAs。

  轉(zhuǎn)速用零功耗傳感器的應(yīng)用

  轉(zhuǎn)速用零功耗傳感器能將角位移轉(zhuǎn)換在成電脈沖信號,供二次儀表使用,主要為鐵路高速列車防滑系統(tǒng)配套。

  具有測量范圍寬,安裝簡便,輸出幅值大,工作溫度范圍寬,抗振性好等優(yōu)點,供抵速測量用戶,特別是使用溫度可以從-10~+65℃,適用范圍較廣,配用其它二次儀表也十分方便。

  從轉(zhuǎn)速用零功耗傳感器看磁敏傳感器的發(fā)展特點

  1.集成電路技術(shù)的應(yīng)用。將硅集成電路技術(shù)應(yīng)用于磁敏傳感器,制成集成磁敏傳感器。

  2.InSb 薄膜技術(shù)的開發(fā)成功,使得霍爾器件產(chǎn)能劇增,成本大幅度下降。

  3.強磁體合金薄膜得到廣泛應(yīng)用。各種磁阻器件出現(xiàn),應(yīng)用領(lǐng)域廣泛。

  4.非晶合金材料的應(yīng)用。與基礎(chǔ)器件配套應(yīng)用,大大改善了磁傳感器性能。

  5.巨磁電阻多層薄膜的研究與開發(fā)。新器件的高靈敏度,高穩(wěn)定性,引起研制高密度記錄磁盤讀出頭的科技人員的極大關(guān)注。

  6.Ⅲ—V 族半導(dǎo)體異質(zhì)結(jié)構(gòu)材料的開發(fā)和應(yīng)用。通過外延技術(shù),形成異質(zhì)結(jié)構(gòu),提高磁敏器件的性能。

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