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北京同德創(chuàng)業(yè)科技有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第13年

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專用設(shè)備儀器
顆粒狀農(nóng)藥粉塵測(cè)定儀 前照燈檢測(cè)儀遠(yuǎn)近光校準(zhǔn)器 便攜式電子井深儀 自動(dòng)膏藥軟化點(diǎn)測(cè)定儀 (碘量法)天然氣硫化氫測(cè)定儀 自動(dòng)生石灰活性測(cè)定儀 泵吸式氣體檢測(cè)報(bào)警儀 觸屏智能型鹽霧試驗(yàn)機(jī) 全自動(dòng)開(kāi)口閃點(diǎn)測(cè)定儀 差熱分析儀 煙霧發(fā)生器 電石發(fā)氣量測(cè)定裝置 原砂比表面積測(cè)定儀 自動(dòng)藥物錐入度試驗(yàn)器 淬火介質(zhì)冷卻性能測(cè)定儀 紫外線光強(qiáng)度照度計(jì) 智能顆粒強(qiáng)度測(cè)定儀 裂縫綜合測(cè)試儀 (測(cè)寬測(cè)深一體機(jī)) 食用油品質(zhì)檢測(cè)儀 靶式光源儀 屏幕亮度計(jì) 多路溫度測(cè)試儀 高精度材料導(dǎo)熱系數(shù)測(cè)試儀 纖維細(xì)度及截面分析儀 自動(dòng)沸點(diǎn)試驗(yàn)裝置 智能型砂強(qiáng)度機(jī) 乳粉溶解性不溶度指數(shù)測(cè)定儀 瞬態(tài)快速熱線法導(dǎo)熱系數(shù)測(cè)試儀 瞬態(tài)激光導(dǎo)熱系數(shù)測(cè)定儀 動(dòng)彈性模量測(cè)定儀 測(cè)定器 氣量?jī)x 溶氧儀 測(cè)定儀 小精靈 測(cè)氡儀 精密烘箱 檢測(cè)儀 礦用風(fēng)門開(kāi)閉狀態(tài)傳感器 回彈儀檢定器回彈儀拉簧檢定儀 專用
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使用勻膠顯影機(jī)的方法

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勻膠顯影機(jī) 型號(hào):SC100-DE
  SC100-DE勻膠顯影機(jī)是一種既可用于精密勻膠操作,又可用于半導(dǎo)體顯影和清洗的臺(tái)面式設(shè)備,它可以實(shí)現(xiàn)價(jià)值百萬(wàn)美元設(shè)備(track)的上才可能達(dá)到穩(wěn)定性和均勻性。 

  不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀;工業(yè)級(jí)別200瓦伺服電機(jī)系統(tǒng),采用與track設(shè)備相同設(shè)計(jì)和程序,使您的工藝更具有實(shí)際應(yīng)用意義;同類產(chǎn)品中的Z大達(dá)到50000RPM/S的旋轉(zhuǎn)加速度,確保勻膠和顯影的穩(wěn)定性和高的可重復(fù)性。 
主要性能指標(biāo): 
主機(jī)機(jī)箱采用不銹鋼材料(抗化學(xué)腐蝕易清潔)  
旋涂程序:Z多可存100組程序,每組100步,每個(gè)步驟可到0.1秒  
轉(zhuǎn)動(dòng)速度:0-10,000rpm(更高速可選)  
旋涂加速度:0-50,000rpm/sec(空載)  
馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 < ±1rpm  
轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm,重復(fù)性< 1rpm  
工藝時(shí)間設(shè)定: 0-3,000 sec/step,時(shí)間設(shè)置精度:0.1sec  
支持wafer尺寸1cm-200mm(8“圓晶)  
標(biāo)準(zhǔn)配置兩路噴液系統(tǒng)(顯影液和去離子水) 



產(chǎn)品特性優(yōu)點(diǎn): 
主機(jī)在SC100-SE勻膠機(jī)上升級(jí),增加耐腐蝕高分子材料防濺式罩蓋 

全程序編輯功能,更方便的智能化操作,更好的顯影/清洗效果  
可實(shí)現(xiàn)Z多獨(dú)立四路噴液用于顯影/清洗工作,或進(jìn)行氮?dú)獯蹈?nbsp; 
控制器可實(shí)現(xiàn)程序自動(dòng)控制噴液或進(jìn)行手動(dòng)操作,使用更加方便 

顯影系統(tǒng)可進(jìn)行噴霧式、柱流式多種選擇,視要求進(jìn)行配置  
提供客戶定制化的顯影系統(tǒng)配置和工裝設(shè)計(jì)  
高可靠性和重復(fù)性,高轉(zhuǎn)速精度和更高轉(zhuǎn)速可選  
可添加去邊膠和背膠清洗功能

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