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四探針電阻率測試儀

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 四探針電阻率測試儀 四探針電阻率儀 方阻儀  型號:KDY-1 
四探針電阻率/方阻測試儀(以下簡稱電阻率測試儀)是用來測量半導體材料(主要是硅單晶、鍺單晶、硅片)電阻率,以及擴散層、外延層、ITO導電箔膜、導電橡膠方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣測量部份(簡稱:主機)、測試架及四探針頭組成。 
本儀器的特點是主機配置雙數字表,在測量電阻率的同時,另一塊數字表(以萬分之幾的精度)適時監測全程的電流變化,免除了測量電流/測量電阻率的轉換,更及時掌控測量電流。主機還提供精度為0.05%的恒流源,使測量電流高度穩定。本機配有恒流源開關,在測量某些箔層材料時,可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發生,更好地保護箔膜。儀器配置:“小游移四探針頭”,探針游移率在0.1~0.2%。保證了儀器測量電阻率的重復性和準確度。本機如加配HQ-710E數據處理器,測量硅片時可自動進行厚度、直徑、探針間距的修正,并計算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的大百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均習庋。給測量帶來很大方便。 
2、主機技術能數 
(1)測量范圍: 
可測電阻率:0.0001~19000Ω•cm 
可測方塊電阻:0.001~1900Ω•□ 
(2)恒流源: 
輸出電流:DC 0.001~100mA 五檔連續可調 
量程:0.001~0.01mA 
0.01~0.10mA 
0.10~1.0mA 
1.0~10mA 
10~100mA 
恒流精度:各檔均低于±0.05% 
(3)直流數字電壓表: 
測量范圍:0~199.99mV 
靈敏度:10μV 
基本誤差:±(0.004%讀數+0.01%滿度) 
輸出電源:≥1000ΩM 
(4)供電電源: 
AC 220V±10% 50/60 Hz 功率:12W 
(5)使用環境: 
溫度:23±2℃ 相對濕度:≤65% 
無較強的電場干擾,無強光直接照射 
(6)重量、體積: 
主機重量:7.5kg 
體積:365×380×160(單位:mm 長度×寬度×高度) 

備注: 
等級測量時(測電阻率),精度<3% 
電氣測量時(測電阻),精度在0.3%以內  

備注: 
儀器包括:主機一臺;測試架(包括臺面)一個;四探針頭1個 

四探針電阻率測試儀 四探針電阻率儀 方阻測試儀  四探針電阻率測定儀

 

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