真空過濾器是將從大氣中吸入的污染物（主要是塵埃）收集起來，以防止真空系統中的元件受污染而出現故障。故吸盤與真空發生器（或真空閥）之間，應設置真空過濾器。真空發生器的排氣口、真空閥的吸氣（或排氣口）和真空泵的排氣口也都應裝上消音器，這不僅降低噪聲而且能起過濾作用，以提高真空系統工作的可靠性。

對真空過濾器的要求是，濾芯污染程度的確認簡單，清掃污染物容易，結構緊湊，不致使真空到達時間增長。

使用注意

在安裝SMC真空過濾器時，注意進出口不得裝反。配管處不得有泄露。維修時，密封件不得損傷。過濾SMC真空器進口壓力不要超過0.5MPa，這點可通過調節減壓閥和節流閥來保證。真空過濾器的流速不大，空氣中的水分不會凝結，故改過濾器無需分水功能，不要用AF系列過濾器取代ZF系列過濾器，避免性能變差。

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