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CD300 等離子表面處理設(shè)備

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更新時(shí)間：2018-05-15 15:45:10瀏覽次數(shù)：410次

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北京燕京電子有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

清洗，活化，蝕刻，表面改性

詳細(xì)介紹

反應(yīng)艙	材料：鋁有效尺寸：300 x 300 x 300mm 容積：27L 艙門：裝有可視窗口托盤(pán)：3個(gè) 尺寸：205 x 260 x 40mm
真空度測(cè)量	皮拉尼真空計(jì)
真空泵	旋片式真空泵；20m³ /h。
頻射發(fā)生器	0~300W可調(diào)，100KHz發(fā)生器
控制系統(tǒng)	PLC可實(shí)現(xiàn)下列功能： l 自動(dòng)控制反應(yīng)過(guò)程； l 根據(jù)處理材料設(shè)定不同的處理工藝參數(shù)； l 測(cè)定真空泵壓力、抽真空時(shí)間、充氣速度、工作壓力、處理時(shí)間、溫度、頻射發(fā)生器輸入電壓等指標(biāo)； l 監(jiān)測(cè)所有的運(yùn)行指標(biāo)，保證各項(xiàng)參數(shù)在設(shè)定范圍之內(nèi)； l 設(shè)定操作進(jìn)入密碼。
電源	380V AC, 三相，50Hz, 40A
反應(yīng)氣體	一個(gè)氣體輸入端口，含氣體流量控制器（MFC）
氣體輸入	直徑1/4英寸（6.45mm）管道，輸入壓力：1Bar
尾氣排放	直徑28mm輸出端口
安全性能	急停開(kāi)關(guān)；真空泵保護(hù)鎖；高溫保護(hù)鎖；CE安全認(rèn)證。