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盡量提高傳感器的電容，可以提高傳感器的靈敏度。由于幾何尺寸的限制，無論是何種型式的電容傳感器，其電容量都很小。傳感器初始電容一般在C=20~200pF，動極板相對位移量，單電容式一般取Δd/d=0.15~0.2mm，差動式為Δd/d=0.3~0.5mm.極板距離d值小至 10~20μm。極板應有較高的表面粗糙度和平整度。提高傳感器電容的另一種辦法是在極板間選用介電常數大的絕緣材料。
傳感器的小電容量變化，注定它易受外界擾動的影響。分布電容會降低傳感器的靈敏度。為此，應盡量減小傳感器連接電纜的長度，并采用雙層屏蔽電纜，同時將電容傳感器置于金屬屏蔽罩內，并采用集成化的測量電路。
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