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擴散層、外延層、ITO導電薄膜、導電橡膠方塊電阻的測量

時間:2025/6/17閱讀:113
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方阻測定儀用于測量半導體材料(硅單晶、鍺單晶、硅片)電阻率,以及擴散層、外延層、ITO導電薄膜、導電橡膠方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣測量部份(簡稱:主機)、測試架及四探針頭組成。
儀器是配精度為0.05%的恒流源、恒流源開關以及雙數字表,在測量電阻率的同時,數字表監測電流變化,儀器可選配測量軟件用于測量硅片時可自動進行厚度、直徑、探針間距的修正,并計算出硅片電阻率、徑向電阻率的MAX百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均勻度。
規格參數
測量范圍:
測電阻率:0.00001~1999.9Ω·cm
測方塊電阻:0.0001~19999Ω/□
恒流源:
直流輸出電流:0.001~100mA五檔可調
量程范圍:0.001~0.01mA、0.01~0.10mA、0.10~1.0mA、1.0~10mA、10~100mA
恒流精度:±0.05%
直流數字電壓表:
測量范圍:0~19.999mV
靈敏度:1μV
基本誤差:±(0.004%讀數+0.01%)
輸入阻抗:≥1000MΩ
測量精度:1~1000Ω·cm≤3%
供電電源:AC 220V±10%,50z/60Hz
功率范圍:12W
環境溫度:23±2℃
相對濕度:≤65%

四探針電阻率/方阻測試儀0.00001-1990Ω·cm(低阻型)

型號:GDSKDY-1L


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