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兩探針法測量橫截面尺寸

時間:2025/6/17閱讀:84
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兩探針電阻率測試儀是按照SEMI MF397-1106(用兩探針測量電阻率的測量方法)“兩探針法"的要求。適用于測量橫截面尺寸是可測量的,棒的長度與橫截面MAX尺寸之比不小于3:1。橫斷面為圓形、正方形、長方形或梯形的單晶或多晶錠。由于兩探針法的測量電流是從長棒兩端進(jìn)出,遠(yuǎn)離電壓測量探針,因此電流流過金屬與半導(dǎo)體接觸處產(chǎn)生的許多副效應(yīng)(如珀爾帖效應(yīng)、塞貝克效應(yīng)、少子注入效應(yīng)等)。
儀器是由電氣測量、測試臺及兩探針頭組成。儀器具有精度為0.05%的恒流源以及雙數(shù)字表,在測量電阻率的同時,另一塊數(shù)字表監(jiān)測電流變化,儀器還配有恒流開關(guān),儀器測量軟件配合探頭在硅棒上移動測量,自動計算多點的電阻率、正反向電阻率平均值、電阻率的MAX值、電阻率MIN值,MAX百分變化,測量數(shù)據(jù)存儲在數(shù)據(jù)庫中,可查詢測量數(shù)據(jù)或按條件查詢;提供打印及導(dǎo)出格式供選擇。
規(guī)格參數(shù):
測量范圍
硅晶體電阻率:0.005-10000Ω·cm
硅棒尺寸:長300mm、直徑20mm(可按要求更改)
恒流源
輸出電流:DC0.001-100mA,五檔可調(diào)
量程范圍:0.001-0.01mA(1-10μA)、0.01-0.1mA(10-100μA)、0.1-1.0mA、1.0-10mA、10-100mA
恒流精度:±0.05%
直流數(shù)字電壓表
測量范圍:0-199.99mV
靈敏度:10μV
兩探針頭
探針間距:1.59±0.01mm
探針直徑:Φ0.8mm
游移率:<0.2%
探針材料:硬質(zhì)合金
探針壓力:3±1N/單針
供電電源:AC 220V±10%,50/60Hz
功率范圍:12W
環(huán)境溫度:23±2℃

兩探針電阻率測試儀ρ:0.005~50000Ω•cm

型號:GDS/KDY-2(磷 硼棒)


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