蒸餾法是一種Z古老、Z常用的脫鹽方法。目前工業廢水的蒸餾法脫鹽技術基本上均是從海水脫鹽淡化技術基礎上 發展而成。蒸餾法就是把含鹽水加熱使之沸騰蒸發，再把蒸 汽冷凝成淡水的過程。蒸餾法是Z早采用的淡化法，其優點是結構簡單、操作容易、所得淡水水質好等。

　　(1)多效蒸發

　　多效蒸發是讓加熱后的鹽水在多個串聯的蒸發器中蒸發，前一個蒸發器蒸發出來的蒸汽作為下一蒸發器的熱源， 并冷凝成為淡水。

　　(2)多級閃蒸

　　以海水淡化為例，將原料海水加熱到一定溫度后引入 閃蒸室，由于該閃蒸室中的壓力控制在低于熱鹽水溫度所對 應的飽和蒸汽壓的條件下，故熱鹽水進入閃蒸室后即成為過 熱水而急速地部分氣化，從而使熱鹽水自身的溫度降低，所產生的蒸汽冷凝后即為所需的淡水。多級閃蒸就是以此原理為基礎，使熱鹽水依次流經若干個壓力逐漸降低的閃蒸室， 逐級蒸發降溫，同時鹽水也逐級增濃，直到其溫度接近(但 高于)天然海水溫度。

　　(3)蒸汽壓縮冷凝

　　蒸汽壓縮冷凝脫鹽技術是將鹽水預熱后，進入蒸發器 并在蒸發器內部分蒸發。所產生的二次蒸汽經壓縮機壓縮提高壓力后引入到蒸發器的加熱側。蒸汽冷凝后作為產品水引出，如此實現熱能的循環利用。當其作為循環冷卻水脫鹽回收工藝時，可使冷卻水中的有害成份得到濃縮排放，并使 95%以上的排污水以冷凝液的形式得到回收，作為循環水和 鍋爐補充水返回系統。