因多晶硅工廠既有化工行業的特性，又有冶金行業的特性，所以在閥門選型中有一定的特殊性。既要有的地方需要高可靠性的閥門，有的地方需要耐磨的閥門，而且還用到交變工況(在-70 到300 兩個工況)的特殊閥。下邊主要從兩個方面介紹在多晶硅公司閥門選型應注意的問題。

　　1、從化工行業特性如何提高可靠性來論述。大多數化工廠都具有有毒有害、易燃易爆的氣體和液體，而多晶硅廠的主要介質為ST，且STC與氧氣反應可生產氫氣，TCS與水劇烈反應產生氯化氫。因此對可靠性要求就更高。能夠適應STC和TCS的材質和閥門形式都是當今的研究課題。因此：

　　(1)介質為氯硅烷、冷凝劑、廢氣、氫氣、氯化氫的調節閥80%以上采用波紋管調節閥。圖1為波紋管調節閥的內部結，其*的波紋管內部結構杜絕了閥桿處外漏;

　　(2)而如口徑不較大或溫度大于500℃時不能采用金屬波紋管調節閥時，可采用氮封形式阻止空氣與閥內部介質的接觸;

　　(3)而介質對人體危害不大，卻對大氣和水有很大危害的工況如冷劑氟利昂時，可采用環保級密封，來有效阻止介質外漏;

　　(4)介質為蒸汽時采用石墨填料或增強型PTFE填料，閥芯閥座采用司太萊堆焊。因蒸汽介質的汽蝕現象嚴重，采用堆焊閥門有效調高閥門壽命;

　　(5)軟密封球閥因結構簡單且泄露等級高也被大量使用，在火災危險場所必須具有防火設計和閥桿防噴出設計，保證在火災發生時安全可靠運行;(6)在交變工況時，采用的閥門必須保證在低溫時不漏高溫不堵，而不是滿足一個溫度條件。在尾氣吸附工況(在-70℃到300℃兩個工況)采用的閥門材質和結構都與其它場合不同;