便攜式高壓氣體質量流量計采用內部補償型層流壓差技術，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。
便攜式高壓氣體質量流量計由流量傳感器、分流器通道、流量調節閥門和放大控制器等部分組成。氣體流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量（無需溫度壓力補償）。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大，放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較，再將差值信號放大后去控制調節閥門，閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質量流量控制器配套的流量顯示儀上設置有穩壓電源，數字電壓表，設定電位器，外設、內設轉換和三位閥控開關等。氣體質量流量控制器與流量顯示儀連接后的工作。
便攜式高壓氣體質量流量計的主要優點是什么？
（1）流量的測量和控制不因溫度或壓力的波動而失準。
對于多數流量測控系統而言，很難避免系統的壓力波動及環境和介質的溫度變化。對于普通的流量計，壓力及溫度的波動將導致較大的誤差；對于質量流量計/質量流量控制器，則一般可以忽略不計。
（2）測量控制的自動化
可以將流量測量值以輸出標準電信號輸出。這樣很容易實現對流量的數字顯示﹑累積流量自動計量﹑數據自動記錄﹑計算機管理等。對質量流量控制器而言，還可以實現流量的自動控制。通常，模擬的MFC/MFM輸入輸出信號為0~+5V或4~20mA，數字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數字串行通訊口，能非常方便地與計算機連接，進行自動控制。
（3）精確地定量控制流量
質量流量控制器可以精確地控制氣體的給定量，這對很多工藝過程的流量控制﹑對于不同氣體的比例控制等特別有用。
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