雙級減壓器與單級減壓器

雙級減壓器(Two Stage Regulator)
 
　　氣體工業名詞，氣體經兩次減壓到使用壓力。其流速和壓力穩定性于單級減壓器。屬于純，防擴散，金屬膜片結構；采用316L或黃銅材質；組裝前所有零部件均經超聲波清洗；在100級潔凈室內組裝，試驗和包裝。包裝在充氮氣(經0101Lm過濾器過濾)的雙層聚乙烯袋中。要求減壓器死體積小。入口壓力zui為21MPa；出口壓力為01007～015MPa，流量系數為0106，工作溫度為-40～175℃，內表面光潔度為15～25Ra，內漏1×10-9mLs(He)；出口壓力升：入口壓力每升017MPa，則出口壓力上升7kPa。

單級減壓器(Single Stage Regulator)
 
　　　氣體工業名詞，氣體經一次減壓到使用壓力，由于壓比大，排氣壓力的穩定性比雙級減壓器差，但結構簡單，價格相對要一些。通常安裝在鋼瓶出口管上，適用于純氣體，有毒氣體，腐蝕性氣體。裝有20Lm過濾器，以保護提動頭不受外部污染。與氣體接觸的部件全部采用316L不銹鋼，經電化學拋光和鈍化處理，表面光潔度為15Ra。所有部件經超聲波清洗，在100級潔凈室內組裝，試驗和包裝。每臺減壓器需單獨進行氦質譜檢漏，包裝在充氮氣的雙層聚乙烯袋中。進口氣體壓力從負壓到2410MPa；排氣壓力為01007～015MPa，試驗壓力為34MPa；流量系數(CV)為0109；工作溫度為-40～71℃；內漏2×10-10mLs(He)；外漏2×10-9mLs(入口壓力2MPa)。