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在半導體里面表示壓強的單位分別有哪些,有什么區別呢?

來源:成都科大勝英科技有限公司   2024年01月19日 14:27  

在實際的應用中,我們所說的壓力常常指壓強,壓力傳感器實際測的是壓強,真空壓力指的也是壓強。那么在半導體里面,表示壓強的單位分別有哪些,有什么區別呢?


帕 Pa

國際標準壓強單位,也是應用廣泛的壓強單位。這個單位是為紀念法國數學家、物理學家兼哲學家布萊士·帕斯卡(Blaise Pascal )而命名。1Pa相當于1N/m2。引出的有百帕hPa,千帕kPa,兆帕MPa等。在半導體設備中,有部分國產設備采用Pa來表示真空度。

巴 Bar

工程常用單位,1bar相當于100000Pa。因為測量大氣壓引出,規定一個大氣壓是1Bar,即每平方厘米受到1公斤的大氣壓力為1巴。也可引出毫巴等單位。在常常用在半導體設備中表示真空度,高真空(highvacuum,HV)一般定義為 >1E-7mbar。

托 Torr

托的命名是為了紀念意大利物理學家托里拆利(EvangelistaTorricelli),他的首要發明是水銀氣壓計。用汞柱表示,1Torr是指“將細直管內的水銀頂高一毫米之壓力”,相當于760mm汞柱的壓力,值是大氣壓力的 1/760 。在半導體鍍膜、刻蝕設備中,常用Torr表示真空度,如5E-5Torr。

PSI

用單位面積英寸上的鎊來表示壓強,美國習慣使用psi作單位,意為磅力/平方英寸,是一個英制單位。在半導體設備中不太能看到psi表示真空度,在MEMS壓力傳感器和控制器中,psi常常作為壓強單位出現表示氣壓或者油壓的大小,特別是美國的器件中。

atm

標準大氣壓,相當于101325Pa。因為測量大氣壓引出,規定一個大氣壓是1atm,一般只用于表示大氣壓強。

在半導體設備中,壓強單位常常表示真空度,這里給出常見的真空的劃分及應用:

粗真空(負壓):10E5~10E2Pa,用于真空干燥和浸漬;

低真空:10E2~10E-1Pa,用于熱處理和低壓化學沉積;

高真空:10E-1~10E-6Pa,用于真空鍵合、物理氣相鍍膜和刻蝕等;

超高真空:<10E-6Pa,用于表面分析,MBE等特殊鍍膜設備。


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