硅酸根分析儀目前普遍采用鉬藍法測量水中微量硅的含量。其工作原理如下：
在酸性溶液中，水樣中的硅會與顯色劑鉬酸鹽發生顯色反應，生成硅鉬黃。然后加入還原劑，硅鉬黃會被還原成藍色的硅鉬藍。溶液藍色的深淺程度與試劑水中硅的含量有關，通過光電比色或分光光度法測定吸光度，再依據朗伯-比爾定律，即可求得待測試樣水中的硅含量。
具體分析過程一般可分為三個階段：
顯色：在加有硫酸的酸性溶液中，使水中硅轉變成可溶性正硅酸鹽(H4SiO4)，然后與鉬酸鹽在微酸性溶液中進行顯色反應，生成黃色硅鉬雜多酸，即硅鉬黃，其分子式為 H4SiMo12O40；
加掩蔽劑：由于水中的鐵、磷等均能與鉬酸鹽起顯色反應，生成黃色絡合物，當加入還原劑時，會與硅鉬黃一起被還原成鉬藍，從而干擾硅的測定。因此，在對硅鉬黃進行還原之前，需先加入掩蔽劑(例如酒石酸、草酸)，使干擾離子與掩蔽劑生成無色穩定的絡合物，以防止干擾分析；
還原：硅鉬黃在還原劑的作用下，被還原成藍色的硅鉬雜多酸，即硅鉬藍，其分子式為。
常用的試劑中，除了H2SO4用于與水中的硅生成可溶性正硅酸外，作為顯色劑的有鉬酸銨、鉬酸鈉等；作為掩蔽劑的有酒石酸、草酸等；作為還原劑的有1-氨基-2-萘酚-4-磺酸，以及羅多耳、萬年青糖醇等有機還原劑。
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