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電子束刻蝕系統(tǒng)

電子束曝光技術是在計算機控制下,按照加工要求的圖形,利用聚焦后的電子束對基片上的抗蝕劑進行曝光,在抗蝕劑中產(chǎn)生具有不同溶解性能的區(qū)域,根據(jù)不同區(qū)域的溶解特性,利用具有選擇性的顯影劑進行顯影,溶解性強的抗蝕劑部分被去除,溶解性差或不溶的部分保留下來,就可以得到所需要的抗蝕劑圖形。正文編輯區(qū)域參考資料編輯區(qū)域

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