轉讓一臺二手1550臥式蒸發鍍膜機
產品名:OTFC-1550DBI 型式:1500DBI
原裝高配OTFC-1550光馳機（年份:2015. 11
日本電子16P雙槍，23 寸光馳RF離子源
275機械泵+愛德華配套羅茨泵
HOM2R-VIS350A光學膜厚監控儀
XTC/3+6點式水晶傳感器
轉讓一臺二手1550臥式蒸發鍍膜機
產品名:OTFC-1550DBI 型式:1500DBI
原裝高配OTFC-1550光馳機(年份:2015. 11
日本電子16P雙槍，23 寸光馳RF離子源
275機械泵+愛德華配套羅茨泵
HOM2R-VIS350A光學膜厚監控儀
XTC/3+6點式水晶傳感器
1.產品參數:
真空室中1550 X 1800mm(H)
工件架φ1400mm工件架轉速10rpm to 30rpm (可變)
光學膜厚控制HOM2- R-VIS350A
波長范圍:350nm to 1100nm 光學膜厚監控儀反射式/透射式
水晶式膜厚計XTC/3+6點式水晶傳感器
蒸發源電子槍2套
離子源17cmRF 離子源
機械泵:排氣系統2個擴散泵Polycold(或2 個冷凝泵)
2. 性能:達到壓力7.0X10-5Pa以下排氣時間20分 (大氣壓,1.3X10- 3Pa)基板溫度:350
3. 設備尺寸:約5500mn(W) X 7200mm()X3700mm(H) 3相, 200v, 50/60Hz,
4. 電源約120KVA 水流量180 升/分以上 空氣壓力0. 5MPa以上
5. 重量約11000kg
轉讓一臺二手1550臥式蒸發鍍膜機
