IV600 日本YAMATO等離子清洗機IV600

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型號IV600
品牌
所在地
更新時間2021-09-28

安捷來國際股份（香港）有限公司

廠商性質經(jīng)銷商
所在地區(qū)
實名認證已認證
產(chǎn)品數(shù)量1258
人氣值6117

產(chǎn)品標簽

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日本YAMATO等離子清洗機IV600

日本YAMATO等離子清洗機IV600 產(chǎn)品詳情

日本YAMATO等離子清洗機IV600:

IV600(Magazineto Magazine process)

MagazinetoMagazineplasma process

Specifications

Model	IV600
Plasmamethod	RIE
Electrodestructure	ForMagazinecorrespondence electrode structure
RFgenerator	100-600W
Oscillatingfrequency	13.56MHz
Controlsystem	LCDtouchpanelwith PLC
Chambersize	(W)230×(D)400×(H)200mm
Chambermaterial	Aluminum
Reactiongas	O2,Ar
Purge gas	N2orDryair
Flow meter	Mass flowcontrol2line
Vacuumpump	1000L/min
Gas system	2line(Reactiongas) , 1 line (Purge gas)
Externaldimension	(W)1,000×(D)900×(H)970mm
Powersupply	AC200/220/380V3phase 10A

關鍵詞：清洗機

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